[实用新型]一种晶元自动周转上下料设备

摘要

一种晶元自动周转上下料设备，其特征在于包括上料盒定位单元1、晶元机械手2、翻转模组3和上料机械手4，上料盒定位单元1和翻转模组3安装在晶元机械手2的两侧，上料机械手4安装在翻转模组3的上方。所述上料盒定位单元1包括定位台1‑1和上料盒1‑2，上料盒1‑2可放置在定位台1‑1上，上料盒1‑2内放置有晶元。所述翻转模组3包括翻转机构3‑1和周转盒3‑2，周转盒3‑2可放置在翻转机构3‑1的托架上。所述上料机械手4可推动翻转过后的周转盒3‑2到下一工位。优点：实现了晶元的全自动周转，避免了人工转运对晶元造成的污染，节省了人力。

主权项

1.一种晶元自动周转上下料设备，其特征在于包括上料盒定位单元（1）、晶元机械手（2）、翻转模组（3）和上料机械手（4），上料盒定位单元（1）和翻转模组（3）安装在晶元机械手（2）的两侧，上料机械手（4）安装在翻转模组（3）的上方。