[实用新型]一种采用光驱动控制的MEMS光开关有效
| 申请号： | 201821816485.1 | 申请日： | 2018-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN211905770U | 公开（公告）日： | 2020-11-10 |
| 发明（设计）人： | 杨光瑶;毛焜 | 申请（专利权）人： | 成都信息工程大学 |
| 主分类号： | G02B6/35 | 分类号： | G02B6/35 |
| 代理公司： | 江阴义海知识产权代理事务所(普通合伙) 32247 | 代理人： | 杨晓华 |
| 地址： | 610225 四川省成都*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种采用光驱动控制的MEMS光开关，包括第一基片、第二基片；第一基片上集成有通信光纤、移动式微反射镜、静电执行器，所述静电执行器包括一对电极；第一基片与第二基片相键合后在所述第一基片与第二基片之间形成一密闭腔室，所述密闭腔室内设置有第一对金属面，所述的第一对金属面中，其中的一个金属面为具有光电效应的第一光电子发射金属面，另一个金属面为用于接收光电子的第一光电子接收金属面；所述密闭腔室上设置有其光线射向第一光电子发射金属面驱动光纤；所述的一对电极分别通过第一导线、第二导线与所述第一光电子发射金属面、第一光电子接收金属面对应连接。本实用新型实现了纯光线驱动模式下的光路切换。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用光 驱动 控制 mems 开关 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于成都信息工程大学，未经成都信息工程大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201821816485.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
