[实用新型]一种表面全场微观三维形貌自动检测仪有效
| 申请号： | 201821817817.8 | 申请日： | 2018-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN209147920U | 公开（公告）日： | 2019-07-23 |
| 发明（设计）人： | 裴永臣;夏峥嵘;赵儒仕;张航 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | G01B7/06 | 分类号： | G01B7/06;G01B7/28;G01B7/34;G01B11/06;G01B11/24;G01B11/30 |
| 代理公司： | 苏州创策知识产权代理有限公司 32322 | 代理人： | 董学文 |
| 地址： | 130012 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 一种表面全场微观三维形貌自动检测仪，能实现接触式和非接触式测量的切换，扩大了测量范围；由步进电机滑台、底座、X/Y向步进电机导轨、接触式电感传感器、激光位移传感器、传感器连接件、CCD摄像头等组成；所述的CCD摄像头能进行检测前的路径规划及检测过程中的路径纠偏；通过对所述X/Y向步进电机导轨系统的控制来改变被测件相对于所述的电感传感器或激光位移传感器的位置，以按照规划的检测路径检测；测量时所述电感传感器或激光位移传感器输出被测件上被测点的垂直高度数据，将被测点的位置坐标与所述的高度数据一一对应起来，即可得到被测面上的三维形貌数据，进而可获得表面粗糙度、平面度等表面特征参数。 | ||
| 搜索关键词： | 激光位移传感器 电感传感器 步进电机 三维形貌 自动检测仪 高度数据 被测点 被测件 接触式 检测 测量 微观 传感器连接件 非接触式测量 表面粗糙度 表面特征 导轨系统 路径规划 路径检测 位置坐标 平面度 纠偏 导轨 滑台 底座 垂直 输出 规划 | ||
【主权项】：
1.一种表面全场微观三维形貌自动检测仪，可实现接触式和非接触式测量的切换；主要由底板(1)、X/Y向步进电机导轨系统、电感传感器测头(17)、激光位移传感器(28)、CCD摄像头(14)、步进电机滑台系统、调节件等组成，其特征在于：接触式测量系统的测量模块，由可带动被测零件(12)在XY面内运动的X/Y向步进电机导轨系统和可测量被测零件(12)表面某一点高度的电感传感器测头(17)组成；非接触式测量系统的测量模块，由可带动被测零件(12)在XY面内运动的X/Y向步进电机导轨系统和可测量被测零件(12)表面某一点高度的激光位移传感器(28)组成。
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