[实用新型]一种HMDS涂胶机

摘要

本实用新型属于涂胶技术领域，尤其为一种HMDS涂胶机，包括第一箱体，所述第一箱体的底部内壁上固定安装有第二箱体，所述第二箱体的顶部固定安装有氮气箱，所述氮气箱的一侧固定安装有第一连接管，所述第一连接管远离氮气箱的一端固定安装有第一气泵，所述第一气泵远离氮气箱的一侧固定安装有第一进气管，且第一进气管与第二箱体相连通，所述第二箱体的顶部固定安装有真空泵，所述真空泵靠近第一气泵的一侧固定安装有第一出气管，所述第一出气管远离真空泵的一端与第二箱体相连通。本实用新型实用性强，进气速度快，气体与晶片反应及时，反应效率高，可有效防止过热，对晶片进行有效保护。

主权项

1.一种HMDS涂胶机，包括第一箱体(1)，其特征在于：所述第一箱体(1)的底部内壁上固定安装有第二箱体(2)，所述第二箱体(2)的顶部固定安装有氮气箱(3)，所述氮气箱(3)的一侧固定安装有第一连接管(4)，所述第一连接管(4)远离氮气箱(3)的一端固定安装有第一气泵(5)，所述第一气泵(5)远离氮气箱(3)的一侧固定安装有第一进气管(6)，且第一进气管(6)与第二箱体(2)相连通，所述第二箱体(2)的顶部固定安装有真空泵(7)，所述真空泵(7)靠近第一气泵(5)的一侧固定安装有第一出气管(8)，所述第一出气管(8)远离真空泵(7)的一端与第二箱体(2)相连通，所述真空泵(7)远离第一出气管(8)的一侧固定安装有第二出气管(9)，且第二出气管(9)远离真空泵(7)的一端延伸至第一箱体(1)外，所述第一箱体(1)的底部内壁上固定安装有第三箱体(10)，所述第三箱体(10)的顶部内壁上固定安装有两个连接杆(11)，两个连接杆(11)的底端固定安装有同一个加热棒(12)，所述第三箱体(10)的顶部固定安装有第二气泵(14)，所述第二气泵(14)远离第二箱体(2)的一侧固定安装有第二连接管(13)，且第二连接管(13)远离第二气泵(14)的一端与第三箱体(10)相连通，所述第二气泵(14)远离第二连接管(13)的一侧固定安装有第二进气管(15)，所述第二进气管(15)远离第二气泵(14)的一端与第二箱体(2)相连通，所述第二箱体(2)的两侧内壁上均固定安装有第一加热板(16)，所述第二箱体(2)的顶部内壁上固定安装有第二加热板(17)，所述第二箱体(2)的底部内壁上固定安装有两个支撑杆(18)，两个支撑杆(18)的顶端放置有晶片(19)。