[实用新型]多晶硅还原炉有效
申请号: | 201821832390.9 | 申请日: | 2018-11-06 |
公开(公告)号: | CN209081437U | 公开(公告)日: | 2019-07-09 |
发明(设计)人: | 彭建涛;茅陆荣;许晟 | 申请(专利权)人: | 上海森松新能源设备有限公司 |
主分类号: | C01B33/021 | 分类号: | C01B33/021 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 胡彬 |
地址: | 201323 上海市浦东*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种多晶硅还原炉,包括:还原炉壳体、夹套筒体和分隔板,夹套筒体设置在还原炉壳体内部,夹套筒体与还原炉壳体之间形成夹套空间,分隔板设置在夹套筒体和还原炉壳体之间,分隔板将夹套空间分隔成多个夹套冷却空间,每个夹套冷却空间上均设置有进水口和出水口。上述的多晶硅还原炉实现了多晶硅还原炉均匀冷却,有利于延长多晶硅还原炉上部材料的使用寿命并能使得物料在整个多晶硅还原炉内充分反应生长,能够满足多晶硅还原炉大型化的发展需求。 | ||
搜索关键词: | 多晶硅还原炉 还原炉壳 夹套筒体 分隔板 夹套空间 夹套冷却 本实用新型 均匀冷却 上部材料 使用寿命 出水口 进水口 体内部 分隔 生长 | ||
【主权项】:
1.一种多晶硅还原炉,其特征在于,包括:还原炉壳体、夹套筒体和分隔板,所述夹套筒体设置在所述还原炉壳体内部,所述夹套筒体与所述还原炉壳体之间形成夹套空间,所述分隔板设置在所述夹套筒体和所述还原炉壳体之间,所述分隔板将所述夹套空间分隔成多个夹套冷却空间,每个所述夹套冷却空间上均设置有进水口和出水口。
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