[实用新型]晶片自动裂片设备有效

专利信息
申请号: 201821832786.3 申请日: 2018-11-07
公开(公告)号: CN208923043U 公开(公告)日: 2019-05-31
发明(设计)人: 史国顺;杨勇;马齐营 申请(专利权)人: 山东芯诺电子科技股份有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 青岛发思特专利商标代理有限公司 37212 代理人: 卢登涛
地址: 272100 山东省济*** 国省代码: 山东;37
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 实用新型公开一种晶片自动裂片设备,属于半导体元器件生产装置技术领域,包括外部支架,外部支架的下方联接有升降装置,升降装置的下方联接有升降支架,升降支架的下方通过滚轴联接杆联接有滚轴,升降支架的左右两侧联接有联接块,联接块的外部设有升降轨道,升降轨道联接在外部支架的内侧,联接块与升降轨道相配合实现相对运动,升降支架的下方设有裂片盘,裂片盘的下方设有驱动装置,外部支架的一侧设有人机操作平台,人机操作平台内设有控制器,人机操作平台的外部设有显示器和按钮,将已划切好得四寸晶圆片通过自动化设备将晶片分离成单颗晶粒提高生产效率降低操作人员用力不均的弊端。解决了现有技术中出现的问题。
搜索关键词: 联接 升降支架 支架 外部 人机操作 升降轨道 联接块 升降装置 自动裂片 滚轴 裂片 半导体元器件 本实用新型 自动化设备 晶粒 晶片分离 驱动装置 生产效率 生产装置 左右两侧 控制器 晶圆片 联接杆 按钮 晶片 种晶 显示器 配合
【主权项】:
1.一种晶片自动裂片设备,包括外部支架(4),其特征在于:所述的外部支架(4)的下方联接有升降装置(2),升降装置(2)的下方联接有升降支架(7),升降支架(7)的下方通过滚轴联接杆(10)联接有滚轴(12),升降支架(7)的左右两侧联接有联接块(6),联接块(6)的外部设有升降轨道(5),升降轨道(5)联接在外部支架(4)的内侧,联接块(6)与升降轨道(5)相配合实现相对运动,升降支架(7)的下方设有裂片盘(8),裂片盘(8)的下方设有驱动装置,外部支架(4)的一侧设有人机操作平台(15),人机操作平台(15)内设有控制器,人机操作平台(15)的外部设有显示器(14)和按钮(16),控制器连接升降装置(2)、驱动装置、显示器(14)和按钮(16)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于山东芯诺电子科技股份有限公司,未经山东芯诺电子科技股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201821832786.3/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top