[实用新型]晶片自动裂片设备有效
申请号: | 201821832786.3 | 申请日: | 2018-11-07 |
公开(公告)号: | CN208923043U | 公开(公告)日: | 2019-05-31 |
发明(设计)人: | 史国顺;杨勇;马齐营 | 申请(专利权)人: | 山东芯诺电子科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 青岛发思特专利商标代理有限公司 37212 | 代理人: | 卢登涛 |
地址: | 272100 山东省济*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本实用新型公开一种晶片自动裂片设备,属于半导体元器件生产装置技术领域,包括外部支架,外部支架的下方联接有升降装置,升降装置的下方联接有升降支架,升降支架的下方通过滚轴联接杆联接有滚轴,升降支架的左右两侧联接有联接块,联接块的外部设有升降轨道,升降轨道联接在外部支架的内侧,联接块与升降轨道相配合实现相对运动,升降支架的下方设有裂片盘,裂片盘的下方设有驱动装置,外部支架的一侧设有人机操作平台,人机操作平台内设有控制器,人机操作平台的外部设有显示器和按钮,将已划切好得四寸晶圆片通过自动化设备将晶片分离成单颗晶粒提高生产效率降低操作人员用力不均的弊端。解决了现有技术中出现的问题。 | ||
搜索关键词: | 联接 升降支架 支架 外部 人机操作 升降轨道 联接块 升降装置 自动裂片 滚轴 裂片 半导体元器件 本实用新型 自动化设备 晶粒 晶片分离 驱动装置 生产效率 生产装置 左右两侧 控制器 晶圆片 联接杆 按钮 晶片 种晶 显示器 配合 | ||
【主权项】:
1.一种晶片自动裂片设备,包括外部支架(4),其特征在于:所述的外部支架(4)的下方联接有升降装置(2),升降装置(2)的下方联接有升降支架(7),升降支架(7)的下方通过滚轴联接杆(10)联接有滚轴(12),升降支架(7)的左右两侧联接有联接块(6),联接块(6)的外部设有升降轨道(5),升降轨道(5)联接在外部支架(4)的内侧,联接块(6)与升降轨道(5)相配合实现相对运动,升降支架(7)的下方设有裂片盘(8),裂片盘(8)的下方设有驱动装置,外部支架(4)的一侧设有人机操作平台(15),人机操作平台(15)内设有控制器,人机操作平台(15)的外部设有显示器(14)和按钮(16),控制器连接升降装置(2)、驱动装置、显示器(14)和按钮(16)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造