[实用新型]一种用于陶瓷盘清洗机的机械手系统有效
| 申请号： | 201821836036.3 | 申请日： | 2018-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN209289264U | 公开（公告）日： | 2019-08-23 |
| 发明（设计）人： | 涂瑾;曹建伟;朱亮;卢嘉彬;马旭;周锋;刘文涛;刘小琴;郑猛 | 申请（专利权）人： | 浙江晶盛机电股份有限公司 |
| 主分类号： | B25J9/00 | 分类号： | B25J9/00;B25J9/12;B25J9/10 |
| 代理公司： | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人： | 周世骏 |
| 地址： | 312300 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体晶圆抛光领域，具体涉及到一种用于陶瓷盘清洗机的机械手系统。包括机架与导轨；导轨有两条且水平安装在机架侧部；机械手爪安装板两端通过滑块与两导轨相连，机械手爪安装板至少有四块且通过一长螺杆串接；机械手爪安装板上设有齿轮齿条传动机构，齿条安装在机架上，齿轮安装在机械手爪安装板下端侧部并与齿条啮合；齿轮与水平驱动减速机相连，直线模组沿竖向设于机械手爪安装板上；直线模组与直线模组驱动电机相连；直线模组滑动件上设有机械手爪安装座；机械手爪设于机械手爪安装座上。本实用新型巧妙地实现了和夹持式机械手同样的功能动作，且减少了一组动力装置；相比于夹持式机械手，故障率与成本更低。 | ||
| 搜索关键词： | 机械手爪 安装板 直线模组 导轨 夹持式机械手 本实用新型 机械手系统 安装座 清洗机 陶瓷盘 齿轮齿条传动机构 半导体晶圆 齿轮安装 齿条啮合 动力装置 功能动作 机架侧部 驱动电机 水平安装 水平驱动 下端侧部 长螺杆 故障率 滑动件 减速机 齿轮 抛光 齿条 串接 滑块 竖向 | ||
【主权项】：
1.一种用于陶瓷盘清洗机的机械手系统，其特征在于，包括机架、导轨、机械手组件与直线模组组件；所述导轨为直线导轨，有两条互相平行且沿水平向安装在机架侧部；所述机械手组件包括机械手爪安装板与机械手爪；所述机械手爪安装板两端通过滑块与两导轨相连，机械手爪安装板至少有四块且通过一长螺杆串接；机械手爪安装板上设有齿轮齿条传动机构，齿轮安装在机械手爪安装板下端侧部，齿条安装在机架上，并与齿轮啮合；齿轮与水平驱动减速机相连，水平驱动减速机连接水平驱动电机；所述直线模组组件包括直线模组与直线模组驱动电机；直线模组沿竖向设于机械手爪安装板上；直线模组与直线模组驱动电机相连；最后端的直线模组与直线模组驱动电机间还设有竖直驱动减速机；所述直线模组滑动件上设有机械手爪安装座；机械手爪设于所述机械手爪安装座上。
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