[实用新型]阀装置以及半导体工艺设备

摘要

本实用新型提供了一种阀装置以及半导体工艺设备，所述阀装置包括：具有阀体和阀芯的阀单元，所述阀体具有第一空腔部和位于所述第一空腔部的内侧壁上的第一基座和第二基座，所述阀芯可旋转地设置在所述第一空腔部中，所述阀芯具有第二空腔部和位于所述第二空腔部中的第一磁铁；设置于所述阀单元外部的驱动单元，所述驱动单元具有可旋转的第二磁铁，且所述第二磁铁的磁端与所述第一磁铁的磁端相对设置，以与所述第一磁铁磁力连接，所述第二磁铁的旋转带动所述第一磁铁旋转，进而带动所述第二空腔部旋转。本实用新型的技术方案能够提高阀装置的可靠性和使用寿命，降低气体或液体的内漏和外漏的次数，进而降低设备的停机次数和产品的报废率。

主权项

1.一种阀装置，其特征在于，包括：阀单元，具有阀体和阀芯，所述阀体具有第一空腔部和位于所述第一空腔部的内侧壁上的第一基座和第二基座，所述第一基座和第二基座均与所述第一空腔部的内侧壁密封相接，所述阀芯可旋转地设置在所述第一空腔部中，所述阀芯具有第二空腔部和位于所述第二空腔部中的第一磁铁，所述第二空腔部可旋转地设置在所述第一空腔部中，所述第一磁铁与所述第二空腔部固定连接；驱动单元，设置于所述阀单元外部，所述驱动单元具有可相对所述第一空腔部旋转的第二磁铁，且所述第二磁铁的磁端与所述第一磁铁的磁端相对设置，以与所述第一磁铁磁力连接，所述第二磁铁的旋转带动所述第一磁铁旋转，进而带动所述第二空腔部旋转，使所述第二空腔部转动至分别与所述第一基座和所述第二基座相抵或者带动所述第二空腔部旋转以从所述第一基座和所述第二基座处离开。