[实用新型]一种PVD机台搭接式防护罩

摘要

本实用新型公开了一种PVD机台搭接式防护罩，包括内托盘、第二主镀膜托盘、第三主镀膜托盘和第四主镀膜托盘，所述内托盘的顶部安装有四个外托盘，且内托盘顶部靠近外托盘的一侧安装有四个卡板，四个所述卡板的顶部均通过螺栓固定连接有第一主镀膜托盘，所述第一主镀膜托盘的一侧安装有第二镀膜托盘和第三镀膜托盘，所述第三镀膜托盘位于第二镀膜托盘的一侧，所述第二主镀膜托盘的一侧安装有第七镀膜托盘和第八镀膜托盘，所述第八镀膜托盘位于第七镀膜托盘的一侧，所述第三主镀膜托盘的一侧安装有第五镀膜托盘和第十镀膜托盘，本实用新型设置了内托盘、外托盘和卡板，解决了装置容易发生变形，缩短使用寿命的问题。

主权项

1.一种PVD机台搭接式防护罩，包括内托盘(11)、第二主镀膜托盘(18)、第三主镀膜托盘(19)和第四主镀膜托盘(20)，其特征在于：所述内托盘(11)的顶部安装有四个外托盘(13)，且内托盘(11)顶部靠近外托盘(13)的一侧安装有四个卡板(12)，四个所述卡板(12)的顶部均通过螺栓固定连接有第一主镀膜托盘(6)，所述第一主镀膜托盘(6)的一侧安装有第二镀膜托盘(2)和第三镀膜托盘(3)，所述第三镀膜托盘(3)位于第二镀膜托盘(2)的一侧，所述第二主镀膜托盘(18)的一侧安装有第七镀膜托盘(7)和第八镀膜托盘(8)，所述第八镀膜托盘(8)位于第七镀膜托盘(7)的一侧，所述第三主镀膜托盘(19)的一侧安装有第五镀膜托盘(5)和第十镀膜托盘(10)，所述第十镀膜托盘(10)位于第五镀膜托盘(5)的一侧，所述第四主镀膜托盘(20)的一侧安装有第四镀膜托盘(4)和第九镀膜托盘(9)，所述第九镀膜托盘(9)位于第四镀膜托盘(4)的一侧，所述外托盘(13)与主镀膜托盘(6)之间贯穿有内六角螺杆(15)，所述内六角螺杆(15)的两侧分别安装有第一定位销(16)和第二定位销(17)，所述第三镀膜托盘(3)和外托盘(13)之间贯穿有连接螺杆(14)，所述第十镀膜托盘(10)和第三镀膜托盘(3)之间安装有第一连接托盘(1)，所述第二镀膜托盘(2)和第四镀膜托盘(4)之间安装有第二连接托盘(21)，所述第八镀膜托盘(8)和第九镀膜托盘(9)之间安装有第三连接托盘(22)，所述第五镀膜托盘(5)和第七镀膜托盘(7)之间安装有第四连接托盘(23)。