[实用新型]一种喷淋式蚀刻设备新型加热设备有效
| 申请号： | 201821843120.8 | 申请日： | 2018-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN209024647U | 公开（公告）日： | 2019-06-25 |
| 发明（设计）人： | 闫小雷 | 申请（专利权）人： | 黄石惠晶显示科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/08 | 分类号： | C23F1/08 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人： | 冯子玲 |
| 地址： | 435000 湖北省黄石市经*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种喷淋式蚀刻设备新型加热设备。所述喷淋式蚀刻设备新型加热设备包括酸性供给机构，所述酸性供给机构与所述缓冲罐相互连通；缓冲罐，所述缓冲罐的中心处开有孔槽结构，且所述缓冲罐的外壁分布有冷却管和加热管；所述冷却管、所述加热管之间相互独立设置；所述缓冲罐的内壁安装有电热管；冷却机组，所述冷却机组连通有冷水排水管和冷水回水管，且所述冷水排水管、所述冷水回水管均与所述冷却管相互连通；加热水箱，所述加热水箱连通有热水排水管和热水回水管；加热储液罐。本实用新型提供的喷淋式蚀刻设备新型加热设备，能够对酸性液体进行液体，保证蚀刻效果。 | ||
| 搜索关键词： | 缓冲罐 加热设备 蚀刻设备 喷淋式 连通 冷却管 本实用新型 冷水回水管 冷水排水管 供给机构 加热水箱 冷却机组 加热管 蚀刻 热水回水管 热水排水管 独立设置 孔槽结构 酸性液体 储液罐 电热管 中心处 内壁 外壁 加热 保证 | ||
【主权项】：
1.一种喷淋式蚀刻设备新型加热设备，其特征在于，包括：酸性供给机构；缓冲罐，所述缓冲罐与所述酸性供给机构相互连通；所述缓冲罐的中心处开有孔槽结构，且所述缓冲罐的外壁分布有冷却管和加热管；所述冷却管、所述加热管之间相互独立设置；所述缓冲罐的内壁安装有电热管；冷却机组，所述冷却机组连通有冷水排水管和冷水回水管，且所述冷水排水管、所述冷水回水管均与所述冷却管相互连通；加热水箱，所述加热水箱连通有热水排水管和热水回水管，且所述热水排水管、所述热水回水管均与所述加热管相互连通；加热储液罐，所述加热储液罐与所述缓冲罐相互连通。
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