[实用新型]一种电力电子器件芯片研发用晶圆倒角辅助装置

摘要

本实用新型涉及晶圆加工设备附属装置的技术领域，特别是涉及一种电力电子器件芯片研发用晶圆倒角辅助装置，其可以通过简化晶圆片倒角流程使晶圆片倒角效率提高；并且可以提高晶圆片两侧倒角的平整度；包括操作台、电动机和晶圆片；还包括两组支撑架、左支撑环、右支撑环、左螺纹杆、右螺纹杆、连接环、两组限位杆、两组滑块、限位板、左调节环、右调节环、左带动杆、右带动杆、左连接杆、右连接杆和两组吸盘爪，限位板的左部区域内部和右部区域的内部分别设置有两组滑动槽；还包括两组稳固架、放置板、调节杆、六棱杆、伸缩环、固定杆、挂杆、横杆、调节器、限位块、控制杆、控制环、伸缩螺纹杆、安装板和砂布，调节器的内部设置有滑动腔。

主权项

1.一种电力电子器件芯片研发用晶圆倒角辅助装置，包括操作台(1)、电动机(2)和晶圆片(3)，所述操作台(1)的底端设置有四组支腿；其特征在于，还包括两组支撑架(4)、左支撑环(5)、右支撑环、左螺纹杆(6)、右螺纹杆(8)、连接环(7)、两组限位杆(9)、两组滑块(10)、限位板(11)、左调节环(12)、右调节环(13)、左带动杆(45)、右带动杆(14)、左连接杆(15)、右连接杆(16)和两组吸盘爪(17)，所述两组支撑架(4)的底端分别与操作台(1)的顶端的左侧和中部连接，所述左支撑环(5)和右支撑环的底端分别与两组支撑架(4)的顶端连接，所述左螺纹杆(6)的左端自左支撑环(5)的右侧穿过螺纹环并且伸出至螺纹环的右端，所述左螺纹杆(6)的右端与连接环(7)的左端中部区域固定套装，所述右螺纹杆(8)的右端与右支撑环转动卡装，所述右螺纹杆(8)的左端与连接环(7)的右端的中心区域固定套装，所述左螺纹杆(6)的外圆周侧壁和右螺纹杆(8)的外圆周侧壁分别设置有两组纹路相反的螺纹，所述左调节环(12)和右调节环(13)分别与左螺纹杆(6)和右螺纹杆(8)螺装，所述限位板(11)的底端与操作台(1)的顶端左侧连接，所述限位板(11)的左部区域内部和右部区域的内部分别设置有两组滑动槽，所述两组滑块(10)分别与两组滑动槽滑动卡装，所述两组滑动槽的顶端分别设置有两组插入孔，所述两组限位杆(9)的底端分别自两组滑动槽的上侧穿过两组插入孔并且分别伸入至两组滑动槽的内部，所述两组限位杆(9)的底端分别与两组滑块(10)的顶端中部区域连接，所述两组限位杆(9)的顶端分别与左调节环(12)的底端和右调节环(13)的底端连接，所述左带动杆(45)和右带动杆(14)的底端分别与左调节环(12)和右调节环(13)的顶端连接，所述左连接杆(15)的左端与左带动杆(45)的右端上侧连接，所述右带动杆(14)的上部区域设置有滚珠轴承，所述右连接杆(16)的右端自右带动杆(14)的左侧穿过滚珠轴承并且伸出至右带动杆(14)的右侧，所述右连接杆(16)的外圆周侧壁与滚珠轴承的内圆周侧壁固定卡装，所述左连接杆(15)和右连接杆(16)的内端分别与两组吸盘爪(17)的外端中部区域连接，所述两组吸盘爪(17)的内端分别与晶圆片(3)的左端和右端中心区域紧贴；还包括两组稳固架(18)、放置板(19)、调节杆(20)、六棱杆(21)、伸缩环(22)、固定杆(23)、挂杆(24)、横杆(25)、调节器(26)、限位块(27)、控制杆(28)、控制环(29)、伸缩螺纹杆(30)、安装板(31)和砂布(32)，所述两组稳固架(18)的底端均与操作台(1)的顶端右侧连接，所述放置板(19)的底端的左侧和右侧分别与两组稳固架(18)的顶端连接，所述电动机(2)的底端与放置板(19)的顶端连接，所述电动机(2)的输出端与调节杆(20)的右端同心连接，所述调节杆(20)的内部设置有六边形伸缩腔，所述六边形伸缩腔的左端连通设置有伸缩口，所述六棱杆(21)的右端自调节杆(20)的左侧穿过伸缩口并且伸入至六边形伸缩腔内部，所述六棱杆(21)的右部区域与六边形伸缩腔滑动卡装，所述六棱杆(21)与伸缩环(22)滑动卡装，所述伸缩环(22)的外圆周侧壁的底端与固定杆(23)的顶端连接，所述固定杆(23)的底端与右支撑环的顶端连接，所述六棱杆(21)的左端与右连接杆(16)的右端同心连接，所述挂杆(24)的底端与左支撑环(5)的顶端连接，所述调节器(26)的顶端与横杆(25)的底端右侧连接，所述调节器(26)的内部设置有滑动腔，所述滑动腔的内端分别连通设置有滑动口，所述限位块(27)与滑动腔滑动卡装，所述控制杆(28)的左端自调节器(26)的内侧穿过滑动口并且伸入至滑动腔内部，所述控制杆(28)的左端与限位块(27)的右端中部区域连接，所述控制杆(28)的内部设置有调控腔，所述调控腔的右端连通设置有控制口，所述伸缩螺纹杆(30)的左端自控制杆(28)的右侧穿过控制口并且伸入至调控腔内部，所述伸缩螺纹杆(30)的左端设置有限位头，所述控制杆(28)的右端设置有环形转槽，所述控制环(29)的左端设置有环卡，所述环卡与环形卡槽转动卡装，所述控制环(29)的内圆周侧壁设置有内控制螺纹，所述控制环(29)与伸缩螺纹杆(30)螺装，所述伸缩螺纹杆(30)的右端与安装板(31)的左端中部区域连接，所述安装板(31)的右端与砂布(32)的左端连接。