[实用新型]清洁装置及半导体设备有效
| 申请号： | 201821849523.3 | 申请日： | 2018-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN209156635U | 公开（公告）日： | 2019-07-26 |
| 发明（设计）人： | 李生骄;董佳仁 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/047 | 分类号： | B08B9/047;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市合肥*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供一种清洁装置及半导体设备。半导体设备包括制程腔室、支路排气管路及清洁装置；制程腔室上设置有排气口；支路排气管路一端与制程腔室的排气口相连通；清洁装置用于对支路排气管路进行清洁作业，清洁装置与支路排气管路远离排气口的一端相邻设置，其中，毛刷朝向支路排气管路，通过伸缩杆的伸缩带动毛刷在支路排气管路内移动以对支路排气管路的不同位置进行清洁作业。本实用新型的清洁装置和半导体设备可以有效避免支路排气管路上的溶剂颗粒残留，可以减少设备停机时间，有助于生产良率和设备产出率的提高。 | ||
| 搜索关键词： | 支路 排气管路 清洁装置 半导体设备 制程腔室 排气口 本实用新型 清洁作业 毛刷 设备产出率 减少设备 溶剂颗粒 相邻设置 伸缩杆 伸缩 良率 停机 残留 移动 生产 | ||
【主权项】：
1.一种清洁装置，其特征在于，包括：毛刷；马达，一端与所述毛刷相连接，用于驱动所述毛刷移动；伸缩杆，与所述马达的另一端相连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于长鑫存储技术有限公司，未经长鑫存储技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201821849523.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
