[实用新型]一种辅助测试硅片电阻率的模具有效
| 申请号： | 201821875449.2 | 申请日： | 2018-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN209513913U | 公开（公告）日： | 2019-10-18 |
| 发明（设计）人： | 马飞 | 申请（专利权）人： | 内蒙古中环领先半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | G01R27/08 | 分类号： | G01R27/08;G01R1/04 |
| 代理公司： | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人： | 栾志超 |
| 地址： | 010070 内蒙古自*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种辅助测试硅片电阻率的模具，包括模具本体。模具本体为圆柱形片状物，模具本体上设有测试孔，测试孔包括中心点测试孔和边缘点测试孔。中心点测试孔为圆柱孔，中心点测试孔置于模具本体中心部位。边缘点测试孔为长条状，边缘点测试孔包括四条，边缘点测试孔以中心点测试孔为中心放射状分布，四条边缘点测试孔呈“十”字形分布。本实用新型的有益效果是：结构简单、操作方便，在对硅片进行电阻率检测的时候，将本模具置于硅片上表面，硅片通过本模具透出五个孔，可使得硅片检测更加规范，中心点测试孔和四个边缘点测试孔相互配合，符合国际标准的五点测试法，提高了测试点准确性；测试更加便捷，测试效率高，生产成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 测试孔 边缘点 中心点 模具本体 硅片 模具 硅片电阻率 辅助测试 本实用新型 电阻率检测 生产成本低 中心放射状 测试效率 点测试法 圆柱形片 测试点 长条状 上表面 圆柱孔 状物 测试 检测 配合 | ||
【主权项】：
1.一种辅助测试硅片电阻率的模具，包括模具本体，其特征在于：所述模具本体为圆柱形片状物，所述模具本体上设有测试孔，所述测试孔包括中心点测试孔和边缘点测试孔，所述中心点测试孔为圆柱孔，所述中心点测试孔置于所述模具本体中心部位，所述边缘点测试孔为长条状，所述边缘点测试孔包括四条，所述边缘点测试孔以所述中心点测试孔为中心放射状分布，四条所述边缘点测试孔呈“十”字形分布，所述边缘点测试孔内设有限位装置。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于内蒙古中环领先半导体材料有限公司，未经内蒙古中环领先半导体材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201821875449.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种储能电池包加工用绝缘性检测装置
- 下一篇：一种大功率绝缘电阻测试仪
