[实用新型]一种承片台及半导体探针台有效
申请号: | 201821885035.8 | 申请日: | 2018-11-16 |
公开(公告)号: | CN209446628U | 公开(公告)日: | 2019-09-27 |
发明(设计)人: | 韦日文;刘振辉;王胜利 | 申请(专利权)人: | 深圳市矽电半导体设备有限公司 |
主分类号: | G01R1/04 | 分类号: | G01R1/04 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518172 广东省深圳市龙岗区龙城街*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种承片台。所述承片台包括,基座,包括支撑板,所述支撑板水平设置;放片部,连接有调心弹片;所述调心弹片设置有调心通孔和多个变形裂口,所述多个变形裂口分别连通于调心通孔;调心轴,通过轴承竖直连接于基座,使所述调心轴能够相对于基座转动;所述调心轴远离基座的一端设置有锥形部;所述放片部放置于基座,所述调心通孔套设并止抵于所述锥形部;在放片部重力作用下,所述调心弹片沿变形裂口变形,从而使放片部沿竖直方向止抵于支撑板。 | ||
搜索关键词: | 调心 片部 裂口 变形 承片台 调心轴 支撑板 弹片 通孔 锥形部 半导体探针 基座转动 竖直连接 水平设置 一端设置 重力作用 竖直 连通 轴承 | ||
【主权项】:
1.一种承片台(100),其特征在于:所述承片台(100)包括,基座(20),包括支撑板(21),所述支撑板(21)水平设置;放片部(30),连接有调心弹片(31);所述调心弹片(31)设置有调心通孔(311)和多个变形裂口(312),所述多个变形裂口(312)分别连通于调心通孔(311);调心轴(40),通过轴承竖直连接于基座(20),使所述调心轴(40)能够相对于基座(20)转动;所述调心轴(40)远离基座(20)的一端设置有锥形部(41);所述放片部(30)放置于基座(20),所述调心通孔(311)套设并止抵于所述锥形部(41);在放片部(30)重力作用下,所述调心弹片(31)沿变形裂口(312)变形,从而使放片部(30)沿竖直方向止抵于支撑板(21)。
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