[实用新型]一种载台旋转调整机构有效
申请号: | 201821885345.X | 申请日: | 2018-11-16 |
公开(公告)号: | CN209446629U | 公开(公告)日: | 2019-09-27 |
发明(设计)人: | 刘振辉;叶伟杰 | 申请(专利权)人: | 深圳市矽电半导体设备有限公司 |
主分类号: | G01R1/04 | 分类号: | G01R1/04;G01D11/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518172 广东省深圳市龙岗区龙城街*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种载台旋转调整机构。所述载台旋转调整机构包括,基座;调整基部,通过推力滚子轴承连接于基座;放片部,连接于调整基部上部;第一调节部,包括第一驱动部、第一传动部、传动滑块部;所述传动滑块部包括固定部和滑动部,所述固定部固定于调整基部,所述固定部和滑动部通过滑轨滑槽连接;所述第一传动部套接于滑动部,所述第一传动部能够相对于滑动部旋转;所述第一驱动部带动第一传动部滑动;所述第一驱动部带动第一传动部滑动方向平行于第一传动部相对于滑动部旋转平面。 | ||
搜索关键词: | 传动部 滑动部 旋转调整机构 固定部 基部 传动滑块 驱动 载台 推力滚子轴承 本实用新型 滑动方向 滑轨滑槽 旋转平面 滑动 片部 套接 平行 | ||
【主权项】:
1.一种载台旋转调整机构,其特征在于:所述载台旋转调整机构(100)包括,基座(20);调整基部(30),通过推力滚子轴承连接于基座(20);放片部(40),连接于调整基部(30)上部;第一调节部(50),包括第一驱动部(51)、第一传动部(52)、传动滑块部(53);所述传动滑块部(53)包括固定部(531)和滑动部(532),所述固定部(531)固定于调整基部(30),所述固定部(531)和滑动部(532)通过滑轨滑槽连接;所述第一传动部(52)套接于滑动部(532),所述第一传动部(52)能够相对于滑动部(532)旋转;所述第一驱动部(51)带动第一传动部(52)滑动;所述第一驱动部(51)带动第一传动部(52)滑动方向平行于第一传动部(52)相对于滑动部(532)旋转平面。
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