[实用新型]一种直插型硅片插片取片装置有效

专利信息
申请号: 201821891659.0 申请日: 2018-11-16
公开(公告)号: CN209071294U 公开(公告)日: 2019-07-05
发明(设计)人: 张学强;戴军;张建伟;罗银兵 申请(专利权)人: 罗博特科智能科技股份有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;H01L21/687
代理公司: 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 代理人: 殷海霞
地址: 215000 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型涉及自动化设备技术领域,公开了一种直插型硅片插片取片装置,其包括包括梳齿组件、升降驱动组件、两置中组件和水平驱动组件;梳齿组件包括两组相互平行并间隔设置的梳齿,梳齿包括若干依次排列的梳齿片,相邻梳齿片之间设有间隔槽,梳齿片的顶部设有夹持槽,夹持槽用于对产品进行夹持,升降驱动组件用于驱动梳齿升降;两置中组件分别设于梳齿组件的两侧,置中组件包括置中板,水平驱动组件用于驱动两置中板分别从两侧向中间运动,将产品置中。实现硅片的置中并排列整齐,便于对其进行插片操作,并通过支撑夹持的方式进行插片和取片,减少了在硅片转移过程中的破损率,同时提高了生产效率。
搜索关键词: 硅片 插片 梳齿组件 升降驱动组件 水平驱动组件 取片装置 夹持槽 梳齿片 直插型 梳齿 本实用新型 自动化设备 间隔设置 排列整齐 驱动梳齿 生产效率 相邻梳齿 依次排列 组件包括 间隔槽 破损率 支撑夹 夹持 两组 取片 平行 升降 驱动
【主权项】:
1.一种直插型硅片插片取片装置,其特征在于,包括梳齿组件、升降驱动组件、两置中组件和水平驱动组件;所述梳齿组件包括两组相互平行并间隔设置的梳齿,所述梳齿包括若干依次排列的梳齿片,相邻所述梳齿片之间设有间隔槽,所述梳齿片的顶部设有夹持槽,所述夹持槽用于对产品进行夹持,所述升降驱动组件用于驱动所述梳齿升降;所述两置中组件分别设于所述梳齿组件的两侧,所述置中组件包括置中板,所述水平驱动组件用于驱动两置中板分别从两侧向中间运动,将产品置中。
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