[实用新型]基板表面检测装置有效
申请号: | 201821892291.X | 申请日: | 2018-11-16 |
公开(公告)号: | CN210128944U | 公开(公告)日: | 2020-03-06 |
发明(设计)人: | 崔汉铉 | 申请(专利权)人: | 塔工程有限公司 |
主分类号: | G01N21/89 | 分类号: | G01N21/89 |
代理公司: | 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363 | 代理人: | 王建国;郭放 |
地址: | 韩国庆*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本实用新型实施例中的基板表面检测装置包括:用于移送基板的移送单元;用于检测基板的下面的第1检测单元;以及用于检测基板的边缘部的第2检测单元。 | ||
搜索关键词: | 表面 检测 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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