[实用新型]一种去胶腔体排液装置有效
申请号: | 201821892403.1 | 申请日: | 2018-11-16 |
公开(公告)号: | CN209036281U | 公开(公告)日: | 2019-06-28 |
发明(设计)人: | 颜志军;陈诚 | 申请(专利权)人: | 上海华力微电子有限公司 |
主分类号: | B24B37/34 | 分类号: | B24B37/34;B24B55/00 |
代理公司: | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人: | 俞涤炯 |
地址: | 201203 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型公开了一种去胶腔体排液装置,包括一连接去胶腔体的排液管和上下设置于所述排液管上的第一阀门和第二阀门,于所述第一阀门和所述第二阀门之间还设置有液位检测装置,所述第一阀门、所述第二阀门和所述液位检测装置受控于一排液管开合自动控制装置,所述排液管开合自动控制装置能够根据所述液位检测装置传送的所述排液管内的液位情况,控制所述第一阀门和所述第二阀门的开合状态,进而实现对所述排液管的液体收集、排放的自动控制,本实用新型结构简单,能够根据排液管内的液体容量情况,自动进行液体收集或排液操作,减小了在排液过程中人为接触有毒液体的风险,提高了排液操作的便利性。 | ||
搜索关键词: | 阀门 排液管 液位检测装置 去胶腔 自动控制装置 本实用新型 排液装置 液体收集 开合 排液 开合状态 排液过程 液体容量 便利性 减小 受控 液位 传送 排放 | ||
【主权项】:
1.一种去胶腔体排液装置,其特征在于,包括一连接去胶腔体的排液管和上下设置于所述排液管上的第一阀门和第二阀门,于所述第一阀门和所述第二阀门之间还设置有液位检测装置。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海华力微电子有限公司,未经上海华力微电子有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201821892403.1/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:化学机械抛光系统及晶圆的后处理单元
- 下一篇:一种上下料手爪