[实用新型]一种硅棒切割后的水洗脱胶装置有效

专利信息
申请号: 201821892445.5 申请日: 2018-11-16
公开(公告)号: CN209034995U 公开(公告)日: 2019-06-28
发明(设计)人: 张银鹏;王进 申请(专利权)人: 宇泽(江西)半导体有限公司
主分类号: B08B3/10 分类号: B08B3/10;B08B3/08
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 336000 江西省*** 国省代码: 江西;36
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摘要: 实用新型公开了一种硅棒切割后的水洗脱胶装置,包括主体箱,所述主体箱底部四角外壁均通过螺栓固定有支撑板,且四个支撑板底部外壁均通过螺纹连接有底座,所述主体箱底部外壁通过螺栓固定有鼓风机,且鼓风机出风口通过螺纹连接有导管,所述主体箱底部外壁开有插孔,且插孔内壁插接有导管,所述主体箱底部内壁通过螺栓固定有分流管,且分流管底部外壁通过螺纹与导管的一端相连接,所述分流管顶部外壁通过螺纹连接有气嘴。本实用新型可通过气流对主体箱内的脱胶剂进行搅动,促进了脱胶效果,使脱胶剂充分与单晶硅棒进行反应,提高了脱胶的效率和质量,避免了残存的脱胶剂和脱胶后的废屑的滞留的情况,提高整体装置的清洁度。
搜索关键词: 主体箱 底部外壁 螺栓固定 螺纹连接 分流管 脱胶剂 导管 本实用新型 硅棒切割 脱胶装置 支撑板 脱胶 鼓风机出风口 鼓风机 清洁度 插孔内壁 单晶硅棒 底部内壁 底部四角 顶部外壁 脱胶效果 整体装置 搅动 滞留的 螺纹 插接 插孔 底座 废屑 外壁
【主权项】:
1.一种硅棒切割后的水洗脱胶装置,包括主体箱(3),其特征在于,所述主体箱(3)底部四角外壁均通过螺栓固定有支撑板(2),且四个支撑板(2)底部外壁均通过螺纹连接有底座(1),所述主体箱(3)底部外壁通过螺栓固定有鼓风机(16),且鼓风机(16)出风口通过螺纹连接有导管,所述主体箱(3)底部外壁开有插孔,且插孔内壁插接有导管,所述主体箱(3)底部内壁通过螺栓固定有分流管(4),且分流管(4)底部外壁通过螺纹与导管的一端相连接,所述分流管(4)顶部外壁通过螺纹连接有气嘴(15),所述主体箱(3)两侧外壁通过螺栓固定有脱胶剂箱(7),且两个脱胶剂箱(7)底部外壁通过螺钉固定有液泵(6),两个所述液泵(6)出液口均通过螺纹连接有出液管,且两个出液管的一端通过螺纹与主体箱(3)两侧内壁相连接,所述主体箱(3)顶部外壁通过铰链铰接有箱盖(9),且主体箱(3)两侧内壁均通过螺栓固定有电动滑轨(5),两个所述电动滑轨(5)底部内壁均滑动连接有滑块(8),且两个滑块(8)相对一侧外壁均通过螺纹连接有两个安装架(13)。
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