[实用新型]一种硅棒切割后的水洗脱胶装置有效
申请号: | 201821892445.5 | 申请日: | 2018-11-16 |
公开(公告)号: | CN209034995U | 公开(公告)日: | 2019-06-28 |
发明(设计)人: | 张银鹏;王进 | 申请(专利权)人: | 宇泽(江西)半导体有限公司 |
主分类号: | B08B3/10 | 分类号: | B08B3/10;B08B3/08 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 336000 江西省*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种硅棒切割后的水洗脱胶装置,包括主体箱,所述主体箱底部四角外壁均通过螺栓固定有支撑板,且四个支撑板底部外壁均通过螺纹连接有底座,所述主体箱底部外壁通过螺栓固定有鼓风机,且鼓风机出风口通过螺纹连接有导管,所述主体箱底部外壁开有插孔,且插孔内壁插接有导管,所述主体箱底部内壁通过螺栓固定有分流管,且分流管底部外壁通过螺纹与导管的一端相连接,所述分流管顶部外壁通过螺纹连接有气嘴。本实用新型可通过气流对主体箱内的脱胶剂进行搅动,促进了脱胶效果,使脱胶剂充分与单晶硅棒进行反应,提高了脱胶的效率和质量,避免了残存的脱胶剂和脱胶后的废屑的滞留的情况,提高整体装置的清洁度。 | ||
搜索关键词: | 主体箱 底部外壁 螺栓固定 螺纹连接 分流管 脱胶剂 导管 本实用新型 硅棒切割 脱胶装置 支撑板 脱胶 鼓风机出风口 鼓风机 清洁度 插孔内壁 单晶硅棒 底部内壁 底部四角 顶部外壁 脱胶效果 整体装置 搅动 滞留的 螺纹 插接 插孔 底座 废屑 外壁 | ||
【主权项】:
1.一种硅棒切割后的水洗脱胶装置,包括主体箱(3),其特征在于,所述主体箱(3)底部四角外壁均通过螺栓固定有支撑板(2),且四个支撑板(2)底部外壁均通过螺纹连接有底座(1),所述主体箱(3)底部外壁通过螺栓固定有鼓风机(16),且鼓风机(16)出风口通过螺纹连接有导管,所述主体箱(3)底部外壁开有插孔,且插孔内壁插接有导管,所述主体箱(3)底部内壁通过螺栓固定有分流管(4),且分流管(4)底部外壁通过螺纹与导管的一端相连接,所述分流管(4)顶部外壁通过螺纹连接有气嘴(15),所述主体箱(3)两侧外壁通过螺栓固定有脱胶剂箱(7),且两个脱胶剂箱(7)底部外壁通过螺钉固定有液泵(6),两个所述液泵(6)出液口均通过螺纹连接有出液管,且两个出液管的一端通过螺纹与主体箱(3)两侧内壁相连接,所述主体箱(3)顶部外壁通过铰链铰接有箱盖(9),且主体箱(3)两侧内壁均通过螺栓固定有电动滑轨(5),两个所述电动滑轨(5)底部内壁均滑动连接有滑块(8),且两个滑块(8)相对一侧外壁均通过螺纹连接有两个安装架(13)。
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