[实用新型]化学机械研磨设备有效
| 申请号： | 201821896638.8 | 申请日： | 2018-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN209408216U | 公开（公告）日： | 2019-09-20 |
| 发明（设计）人： | 宋士佳;严静融;李琳琳 | 申请（专利权）人： | 东泰高科装备科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/11;B24B37/30;B24B57/02 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 韩建伟;谢湘宁 |
| 地址： | 102209 北京市昌平*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种化学机械研磨设备。该化学机械研磨设备包括传输机构、载板、研磨装置以及设置于载板上的研磨液供液装置，载板用于装载待处理晶片，载板或研磨装置设置于传输机构上。该化学机械研磨设备通过传输机构实现了晶片的连续研磨生产，单台设备产能成倍提升，十分便于大批量连续生产应用。 | ||
| 搜索关键词： | 化学机械研磨设备 载板 传输机构 研磨装置 本实用新型 待处理晶片 单台设备 供液装置 连续研磨 研磨液 产能 晶片 装载 应用 生产 | ||
【主权项】：
1.一种化学机械研磨设备，其特征在于，包括传输机构(101)、载板、研磨装置(301)以及设置于所述载板上的研磨液供液装置(401)，所述载板用于装载待处理晶片，所述载板或所述研磨装置(301)设置于所述传输机构(101)上。
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