[实用新型]一种外延炉托盘基座

摘要

本实用新型提供了一种外延炉托盘基座，属于半导体化学气相沉积设备领域，包括基础圆环、设置在基础圆环上用于固定6英寸晶片衬底的外定位圆环以及可拆卸连接在外定位圆环上的用于固定4英寸晶片衬底的内定位圆环，基础圆环的上端面的内侧设有凸出于基础圆环的上端面的定位环，外定位圆环通过定位环配装在基础圆环的上端面，外定位圆环的厚度大于定位环的高度，内定位圆环配装在外定位圆环的内侧且位于定位环的上端。本实用新型提供的一种外延炉托盘基座，4英寸和6英寸两种尺寸晶片能够通用，即便存在污染物、破损或超过使用寿命时，可以单独清理或更换。

主权项

1.一种外延炉托盘基座，其特征在于，包括基础圆环、设置在所述基础圆环上用于固定6英寸晶片衬底的外定位圆环以及可拆卸连接在所述外定位圆环上的用于固定4英寸晶片衬底的内定位圆环，所述基础圆环的上端面的内侧设有凸出于所述基础圆环的上端面的定位环，所述外定位圆环通过所述定位环配装在所述基础圆环的上端面，所述外定位圆环的厚度大于所述定位环的高度，所述内定位圆环配装在所述外定位圆环的内侧且位于所述定位环的上端。