[实用新型]用于定向凝固生长多晶硅的冷却机构

摘要

本实用新型公开了用于定向凝固生长多晶硅的冷却机构，炉体内设有冷却盘，隔热环板的径向外缘与炉体内壁接触连接、径向内缘与冷却盘的外壁接触连接；冷却盘上板面上放置坩埚，坩埚外套设有保温筒，保温筒的内壁固定有石墨发热体，保温筒外环设有电磁感应圈；冷却环板上还开设有环槽，保温筒的轴向底端贯穿环槽；隔热环板下方的炉体内伸入转动套管，转动套管端部与冷却盘的下板面转动连接；转动套管上还套设有从动圆盘，从动圆盘的外缘螺纹连接有调节筒，调节筒的轴向上端通过嵌入限位卡槽内与保温筒连接。本实用新型利于克服中心的过冷度比较大的问题，不会凝固熔体产生振动等不利影响，利于多晶硅生长。

主权项

1.用于定向凝固生长多晶硅的冷却机构，包括炉体(1)，其特征在于，所述炉体(1)内设有同轴心线的冷却盘(2)，炉体(1)内还设有隔热环板(3)，隔热环板(3)的径向外缘与炉体(1)内壁接触连接、径向内缘与冷却盘(2)的外壁接触连接；冷却盘(2)上板面上放置坩埚(4)，坩埚(4)外套设有保温筒(6)，保温筒(6)的内壁固定有石墨发热体(5)，保温筒(6)外环设有电磁感应圈(7)；冷却环板(3)上还开设有环槽(8)，保温筒(6)的轴向底端适配伸入、且贯穿环槽(8)，且保温筒(6)贯穿环槽(8)的端部沿轴向开设有限位卡槽(12)；隔热环板(3)下方的炉体(1)内伸入转动套管(9)，所述转动套管(9)的轴向一端由驱动机构驱动转动、轴向另一端与冷却盘(2)的下板面转动连接；转动套管(9)上还套设有从动圆盘(10)，从动圆盘(10)的外缘螺纹连接有调节筒(11)，调节筒(11)的轴向上端通过嵌入所述限位卡槽(12)内与保温筒(6)连接；转动套管(9)正反向转动，带动从动圆盘(10)正反向转动，通过螺纹传动带动调节筒(11)上下移动、从而推动保温筒(6)和石墨发热体(5)向上或向下移动。