[实用新型]一种氮化镓基发光二极管外延片有效

专利信息
申请号: 201821914889.4 申请日: 2018-11-20
公开(公告)号: CN209199974U 公开(公告)日: 2019-08-02
发明(设计)人: 郭炳磊;王群;肖扬;葛永晖;吕蒙普;胡加辉;李鹏 申请(专利权)人: 华灿光电(浙江)有限公司
主分类号: H01L33/00 分类号: H01L33/00;H01L33/14;H01L33/32;H01L33/26
代理公司: 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 代理人: 徐立
地址: 322000 浙江省*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 实用新型公开了一种氮化镓基发光二极管外延片,属于半导体技术领域。所述氮化镓基发光二极管外延片包括衬底、缓冲层、未掺杂氮化镓层、电子提供层、有源层和空穴提供层,所述缓冲层、所述未掺杂氮化镓层、所述电子提供层、所述有源层和所述空穴提供层依次层叠在所述衬底上,所述电子提供层包括多个第一子层和多个第二子层,所述多个第一子层和所述多个第二子层交替层叠设置;所述第一子层为Ag层,所述第二子层为N型掺杂的GaN层。本实用新型通过将Ag层和N型掺杂的GaN层交替层叠形成电子提供层,Ag层可以对N型掺杂的GaN层提供的电子进行扩展,使电子在N型掺杂的GaN层中均匀分布,有效避免产生电流拥堵效应。
搜索关键词: 子层 电子提供层 氮化镓基发光二极管 外延片 未掺杂氮化镓层 空穴 本实用新型 交替层叠 缓冲层 衬底 源层 半导体技术领域 电流拥堵 依次层叠
【主权项】:
1.一种氮化镓基发光二极管外延片,所述氮化镓基发光二极管外延片包括衬底、缓冲层、未掺杂氮化镓层、电子提供层、有源层和空穴提供层,所述缓冲层、所述未掺杂氮化镓层、所述电子提供层、所述有源层和所述空穴提供层依次层叠在所述衬底上,其特征在于,所述电子提供层包括多个第一子层和多个第二子层,所述多个第一子层和所述多个第二子层交替层叠设置;所述第一子层为Ag层,所述第二子层为N型掺杂的GaN层。
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