[实用新型]一种电子芯片光刻辅助装置

摘要

本实用新型涉及电子芯片加工附属装置的技术领域，特别是涉及一种电子芯片光刻辅助装置，其方便对圆形的电子芯片进行定位，提高使用可靠性；并且方便对光刻板进行安装和调节，提高工作效率；包括工作台、光刻机、光刻板、箱体和定位台，箱体安装在工作台的顶端，并在箱体的内部设置有工作腔，定位台的顶端设置有圆形定位槽，圆形定位槽内设置有多组夹紧装置，多组夹紧装置均铰接杆、支撑弹簧、挡块和夹紧柱，箱体的前端设置有取放口，还包括左转轴、右转轴、左升降板、右升降板、多组左固定螺栓、多组右固定螺栓、第一左滚珠轴承、第一右滚珠轴承、第二左滚珠轴承和第二右滚珠轴承，左升降板的右端和右升降板的左端分别设置有左条形槽和右条形槽。

主权项

1.一种电子芯片光刻辅助装置，包括工作台（1）、光刻机（2）和光刻板（3）；其特征在于，还包括箱体（4）和定位台（5），所述箱体（4）安装在工作台（1）的顶端，并在箱体（4）的内部设置有工作腔，所述光刻机（2）安装在工作腔的内顶壁上，所述定位台（5）安装在工作腔的内底壁上，并在定位台（5）的顶端设置有圆形定位槽（6），所述圆形定位槽（6）内设置有多组夹紧装置，所述多组夹紧装置结构相同，并且多组夹紧装置等角度安装在圆形定位槽（6）的内侧壁上，多组夹紧装置均包括铰接杆（7）、支撑弹簧（8）、挡块（9）和夹紧柱（10），多组所述铰接杆（7）的一端均与圆形定位槽（6）的内侧壁连接，多组铰接杆（7）的另一端分别与多组所述夹紧柱（10）连接，多组所述支撑弹簧（8）的一端均与圆形定位槽（6）的内侧壁连接，多组支撑弹簧（8）的另一端分别与多组铰接杆（7）远离圆形定位槽（6）圆心的一端连接，多组所述挡块（9）均安装在圆形定位槽（6）的内侧壁上，并且多组挡块（9）的一端分别与多组铰接杆（7）远离支撑弹簧（8）的一侧贴紧，多组夹紧柱（10）的朝向圆形定位槽（6）的一侧中部均设置有卡槽（11），多组所述卡槽（11）位于同一水平面上，并且多组卡槽（11）的顶面均为光滑弧形过渡，多组卡槽（11）的内底壁均为平面结构，箱体（4）的前端设置有取放口；还包括左转轴（12）、右转轴、左升降板（13）、右升降板、多组左固定螺栓（14）和多组右固定螺栓，所述工作腔内顶壁的左端和右端分别设置有第一左安装槽和第一右安装槽，并在第一左安装槽和第一右安装槽内分别固定安装有第一左滚珠轴承（15）和第一右滚珠轴承（16），工作腔内底壁的左端和右端分别设置有第二左安装槽和第二右安装槽，并在第二左安装槽和第二右安装槽内分别固定安装有第二左滚珠轴承（17）和第二右滚珠轴承（18），所述左升降板（13）的中部和右升降板的中部分别设置有上下贯通的左螺纹孔和右螺纹孔，所述左转轴（12）和右转轴的侧壁上分别设置有第一外螺纹结构（19）和第二外螺纹结构（20），所述第一外螺纹结构（19）和第二外螺纹结构（20）分别与左螺纹孔和右螺纹孔的内螺纹结构相匹配，所述左转轴（12）的顶端自左升降板（13）的底端螺装穿过左螺纹孔并插入至第一左滚珠轴承（15）内部，左转轴（12）的底端插入至第二左滚珠轴承（17）内部，所述右转轴的顶端自右升降板的底端螺装穿过右螺纹孔并插入至第一右滚珠轴承（16）内部，右转轴的底端插入至第二右滚珠轴承（18）内部，所述左升降板（13）的右端和右升降板的左端分别设置有左条形槽和右条形槽，所述光刻板（3）的左端和右端分别位于左条形槽和右条形槽内，左升降板（13）和右升降板的顶端分别设置有多组左固定螺孔和多组右固定螺纹孔，所述多组左固定螺孔的底端均与左条形槽相通，所述多组右固定螺孔的底端均与右条形槽相通，所述多组左固定螺栓（14）的螺杆一端自左升降板（13）的顶端分别螺装穿过多组左固定螺孔伸入至左条形槽内并与光刻板（3）的顶端左侧贴紧，所述多组右固定螺栓的螺杆一端自右升降板的顶端分别螺装穿过多组右固定螺孔伸入至右条形槽内并与光刻板（3）的顶端右侧贴紧。