[实用新型]用于刻蚀机防短路保护罩有效
| 申请号： | 201821918801.6 | 申请日： | 2018-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN208889603U | 公开（公告）日： | 2019-05-21 |
| 发明（设计）人： | 胡铁;吕正 | 申请（专利权）人： | 重庆斯太宝科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 重庆强大凯创专利代理事务所(普通合伙) 50217 | 代理人： | 黄书凯 |
| 地址： | 400707 重庆*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及电气保护装置领域，具体涉及一种用于刻蚀机防短路保护罩，包括盖体，所述盖体设置在离子束发射出口外，所述盖体中心设有第一通孔，所述第一通孔孔径大小与离子束发射出口相同且第一通孔与离子束发射出口的中心重合，所述盖体外侧周向固定设置有耳板，所述耳板上设有安装孔，所述安装孔上设有螺栓，所述耳板通过螺栓将盖体固定连接在刻蚀机内壁上。本实用新型能够保护中和灯丝，避免金属离子持续堆积附着在中和灯丝上，造成中和灯丝短路。 | ||
| 搜索关键词： | 离子束发射 中和灯丝 耳板 盖体 本实用新型 螺栓 短路保护 安装孔 刻蚀 通孔 电气保护装置 出口 盖体固定 盖体中心 金属离子 通孔孔径 中心重合 周向固定 短路 刻蚀机 附着 内壁 堆积 | ||
【主权项】：
1.用于刻蚀机防短路保护罩，其特征在于：包括盖体，所述盖体设置在离子束发射出口外，所述盖体中心设有第一通孔，所述第一通孔孔径大小与离子束发射出口相同且第一通孔与离子束发射出口的中心重合，所述盖体外侧周向固定设置有耳板，所述耳板上设有安装孔，所述安装孔上设有螺栓，所述刻蚀机内壁上设有螺纹孔，所述螺栓穿过耳板上的安装孔并与刻蚀机内壁上的螺纹孔螺纹连接，所述耳板通过螺栓将盖体固定连接在刻蚀机内壁上。
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