[实用新型]物镜的清洗装置和显微镜有效
| 申请号： | 201821918893.8 | 申请日： | 2018-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN209969138U | 公开（公告）日： | 2020-01-21 |
| 发明（设计）人： | 鲁泽;李俊杰;黄志凯;叶日铨 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | B08B11/00 | 分类号： | B08B11/00;B08B5/00 |
| 代理公司： | 31294 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 孙佳胤;董琳 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种物镜的清洗装置和显微镜，其中所述物镜的清洗装置包括内腔体和位于内腔体外侧的外腔体，所述内腔体具有腔体壁，内腔体的腔体壁围绕的空间构成密闭的内腔室，所述内腔室中用于容纳待清洗的物镜，所述外腔体具有腔体壁，所述外腔体的腔体壁与内腔体的腔体壁接触构成密闭的外腔室；所述内腔体的腔体壁上设置有气体供入口，用于向内腔室中供入清洗气体；所述内腔体的腔体壁上还设置有单向阀门，单向阀门打开时将内腔室和外腔室连通，当清洗气体通过气体供入口供入内腔室内对物镜进行清洗时，清洁气体将物镜上的颗粒或污染物通过打开的单向阀门带到外腔室。本实用新型的清洗装置防止生产过程中隐患的产生，提高了清洗的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 内腔体 腔体壁 物镜 单向阀门 清洗装置 内腔室 外腔室 外腔体 清洗 清洗气体 密闭 本实用新型 清洁气体 生产过程 供入口 显微镜 内腔 腔室 向内 连通 污染物 容纳 室内 | ||
【主权项】：
1.一种物镜的清洗装置，其特征在于，包括：内腔体和位于内腔体外侧的外腔体，所述内腔体具有腔体壁，内腔体的腔体壁围绕的空间构成密闭的内腔室，所述内腔室中用于容纳待清洗的物镜，所述外腔体具有腔体壁，所述外腔体的腔体壁与内腔体的腔体壁接触构成密闭的外腔室；/n所述内腔体的腔体壁上设置有气体供入口，用于向内腔室中供入清洗气体，所述清洗气体用于对物镜进行清洗，将物镜上的颗粒或污染物通过打开的单向阀门带到外腔室；/n所述内腔体的腔体壁上还设置有单向阀门，单向阀门打开时将内腔室和外腔室连通。/n
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