[实用新型]一种硅片生产用外径滚磨机构

摘要

本实用新型涉及一种硅片生产用外径滚磨机构，包括底板、转动机构和固定机构，所述底板的上端面上安装有转动机构，转动机构的内部安装有固定机构，转动机构包括前侧板，底板上端面的前端安装有前侧板，前侧板的中部设有圆孔，圆孔内通过轴承安装有进料筒，进料筒外侧壁的中部安装有转动支链，进料筒的后端面沿其周向方向均匀设有固定孔。本实用新型可以解决现有滚磨技术中可能存在的晶棒产生波纹状研磨痕迹、晶棒滚磨不能达到晶棒需要的直径、晶棒滚磨步骤繁琐、研磨机械不能根据需要调整，安装及拆卸困难和生产效率低等问题，可以实现晶棒的快速高质量滚磨，具有步骤简单、晶棒滚磨质量高、研磨机械安装拆卸方便和生产效率高的优点。

主权项

1.一种硅片生产用外径滚磨机构，包括底板(1)、转动机构(2)和固定机构(3)，其特征在于：所述底板(1)的上端面上安装有转动机构(2)，转动机构(2)的内部安装有固定机构(3)；其中：/n所述的转动机构(2)包括前侧板(21)，底板(1)上端面的前端安装有前侧板(21)，前侧板(21)的中部设有圆孔，圆孔内通过轴承安装有进料筒(22)，进料筒(22)侧壁的中部安装有转动支链(23)，进料筒(22)的后端面沿其周向方向均匀设有固定孔，固定孔为T字形，固定孔的内部连接有固定机构(3)，固定机构(3)的后端安装有连接筒(24)，连接筒(24)与进料筒(22)的后端面均设有固定孔，底板(1)上端面的左右侧边左右对称设有滑槽，滑槽内通过滑动配合的方式连接有电动滑块(25)，电动滑块(25)的上端面安装有后侧板(26)，后侧板(26)的中部设有通孔，通孔内安装有轴承；/n所述的固定机构(3)沿连接筒(24)的前端面的周向均匀设置，且固定机构(3)与固定孔一一对应，固定机构(3)包括固定块(31)，固定块(31)上端面的中部设有圆槽，固定块(31)的内部设有凹槽，凹槽内安装有拆卸支链(32)，固定块(31)前端面的中部安装有固定支链(33)；/n所述的固定支链(33)包括连接板(331)，固定块(31)前端面的中部安装有连接板(331)，连接板(331)的中部设有线槽，连接板(331)上下端面的前端上下对称设有限位槽，限位槽的内壁上设有条形槽，条形槽内通过滑动配合的方式连接有滑条(332)，滑条(332)的后端安装有限位板(333)，限位板(333)为无下端面的中空结构，限位板(333)上内侧面与限位弹簧(334)的上端相连接，限位弹簧(334)的下端与限位槽的下端面相连接，连接板(331)前端的中部安装有支撑杆(335)，支撑杆(335)侧壁的中部通过轴承安装有滑轮(336)，限位板(333)上内侧面的中部连接有长线(337)，长线(337)穿过限位弹簧(334)的中部并在滑轮(336)上缠绕一圈后进入线槽。/n