[实用新型]一种钝化前Si基HgCdTe芯片清洗装置

摘要

本实用新型公开了一种钝化前Si基HgCdTe芯片清洗装置。该装置包括二氧化碳储罐（1），二氧化碳储罐（1）通过冷却器（2）、输送泵（3）和热转换器（4）连接到清洁室（5）；清洁室（5）中含有活动式喷嘴（6）、芯片架（7）、压力控制器（8）、光强检测机构（10）；光强检测机构（10）连接一处理器（15）；清洁室（5）的出口连接通过二氧化碳分离槽（12）连接二氧化碳储罐（1）。本实用新型能够克服传统手工清理钝化前Si基HgCdTe芯片工艺的不足，缩短清洗时间，避免有毒有害有机溶剂的使用，降低了对操作人员的技术要求，使得对芯片的清洁转向自动化，同时还充分发挥了超临界二氧化碳高扩散性、高溶解性和绿色环保的特点。

主权项

1.一种钝化前Si基HgCdTe芯片清洗装置，包括二氧化碳储罐，二氧化碳储罐顺次通过冷却器连接到输送泵，输送泵通过热转换器连接到清洗室，清洗室的出口顺次通过减压阀连接到二氧化碳分离槽的入口，二氧化碳分离槽的气体出口经冷凝器连接到二氧化碳储罐，所述二氧化碳储罐的上方具有压力控制器。