[实用新型]一种基于曝光机框架高重复机械精度的定位装置有效
申请号: | 201821921104.6 | 申请日: | 2018-11-21 |
公开(公告)号: | CN209265174U | 公开(公告)日: | 2019-08-16 |
发明(设计)人: | 詹泽军;柯华廉 | 申请(专利权)人: | 东莞市多普光电设备有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 北京华仲龙腾专利代理事务所(普通合伙) 11548 | 代理人: | 李静 |
地址: | 523000 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种基于曝光机框架高重复机械精度的定位装置,包括铰接配合的下框架和上框架,上框架的左右侧和后侧均设置有第一定位组件,第一定位组件包括设置在下框架上的T卡定位座,所述的T卡定位座的中心开设有定位槽,T卡定位座上设置有第一定位块,第一定位块上设置通过第一定位销安装有两个相对的第一定位轴承,上框架上安装有T型定位块,T型定位块的竖直部分与定位槽插套配合并与第一定位轴承相切配合,且上框架左右侧和上框架后侧的第一定位轴承垂直设置,本实用新型能够对上框架实现前后走向和左右走向的位置定位,以确保上下底片间的对位精准度,从而保证PCB基板上下层间的偏移量控制在范围内。 | ||
搜索关键词: | 上框架 定位轴承 定位座 本实用新型 定位装置 定位组件 定位槽 定位块 高重复 曝光机 对位精准度 插套配合 垂直设置 铰接配合 位置定位 定位销 偏移量 上下层 下框架 底片 竖直 相切 配合 保证 | ||
【主权项】:
1.一种基于曝光机框架高重复机械精度的定位装置,包括铰接配合的下框架(1)和上框架(2),其特征在于,所述的上框架(2)的左右侧和后侧均设置有第一定位组件(3),所述的第一定位组件(3)包括设置在下框架(1)上的T卡定位座(30),所述的T卡定位座(30)的中心开设有定位槽,所述的T卡定位座(30)上设置有第一定位块(31),所述的第一定位块(31)上设置通过第一定位销(33)安装有两个相对的第一定位轴承(32),所述的上框架(2)上安装有T型定位块(34),所述的T型定位块(34)的竖直部分与定位槽插套配合并与第一定位轴承(32)相切配合,且上框架左右侧和上框架后侧的第一定位轴承(32)垂直设置。
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