[实用新型]一种光刻制程中的新型光阻去边喷嘴结构

摘要

本实用新型公开了一种光刻制程中的新型光阻去边喷嘴结构，包括U型支架、空气喷嘴、节流阀、便拆部、清洁干燥空气制造器和电动阀，所述U型支架上方部分贯穿开设第一通孔，第一通孔内固定安装溶剂运输管一端，U型支架的上方部分底部设置便拆部，便拆部底部底部安装溶剂喷嘴，U型支架的上方部分顶部开设安装槽，并设置清洁干燥空气制造器，U型支架上方部分贯穿开设第二通孔，第二通孔和安装槽内部连通，位于U型支架上方部分的底部开设空气喷嘴安装槽，第二通孔和空气喷嘴安装槽内部连通，空气喷嘴安装槽内安装喷管螺纹底座，喷管螺纹底座通过空气喷管安装空气喷嘴本设计能够使光阻去边尺寸工艺更加稳定并防止溶剂飞溅。

主权项

1.一种光刻制程中的新型光阻去边喷嘴结构，包括U型支架(3)、空气喷嘴(5)、节流阀(8)、便拆部(9)、溶剂运输管(12)、清洁干燥空气制造器(14)、电动阀(17)和风机盒(20)，其特征在于，所述U型支架竖直部分右侧固定安装有两个运输泵(2)，运输泵(2)沿前后方向设置，U型支架(3)上方部分贯穿开设有第一通孔，第一通孔内固定安装有溶剂运输管(12)一端，溶剂运输管(12)的另一端固定安装在一个运输泵(2)的输出端，U型支架(3)的上方部分底部设置有便拆部(9)，便拆部(9)包括溶剂喷嘴安装槽(23)，U型支架(3)的上方部分底部开设有溶剂喷嘴安装槽(23)，溶剂喷嘴安装槽(23)顶部和溶剂运输管(12)的输出端连通，溶剂喷嘴安装槽内螺纹安装有溶剂喷嘴安装座(22)，溶剂喷嘴安装座(22)内贯穿开设有通孔，溶剂喷嘴安装座(22)底部固定安装有溶剂喷嘴(11)，溶剂喷嘴(11)和溶剂喷嘴安装座(22)内部通孔连通，U型支架(3)的上方部分顶部开设有安装槽(15)，安装槽(15)内设置有清洁干燥空气制造器(14)，清洁干燥空气制造器(14)包括风机盒(20)，所述风机盒固定安装在安装槽(15)内侧底部，风机盒(20)内侧顶部固定安装有风机(19)，风机盒(20)的出风口处设置有出风管(18)，风机(19)的出风处正对出风管(18)，U型支架(3)上方部分贯穿开设有第二通孔，第二通孔和安装槽(15)内部连通，出风管(18)的固定安装在第二通孔内，位于U型支架上方部分的底部开设有空气喷嘴安装槽，第二通孔和空气喷嘴安装槽内部连通，空气喷嘴安装槽内螺纹安装有喷管螺纹底座(7)，喷管螺纹底座(7)内纵向贯穿开设有孔洞，喷管螺纹底座(7)底部固定安装有空气喷管(6)的一端，空气喷管(6)的另一端螺纹安装有空气喷嘴(5)，空气喷嘴内贯穿开设有空气喷孔(16)，空气喷孔(16)的底部设有电动阀(17)，所述U型支架(3)的下方部分所安装结构以及结构的连接关系和U型支架(3)上方部分完全相同，U型支架(3)内侧中央设置有溶剂喷嘴(11)。