[实用新型]载具传输系统有效
| 申请号： | 201821922485.X | 申请日： | 2018-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN209087799U | 公开（公告）日： | 2019-07-09 |
| 发明（设计）人： | 胡庆为 | 申请（专利权）人： | 东泰高科装备科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京维澳专利代理有限公司 11252 | 代理人： | 石晓峰;贾博雍 |
| 地址： | 102209 北京市昌平*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种载具传输系统，包括：传输装置和多个夹持机构，其中，所述传输装置具有呈环形设置的输送带；所述夹持机构分别设置在所述输送带上，所述夹持机构用于夹持载具。输送带上设置多个夹持机构，夹持机构通过环形输送带，实现循环流转，根据需求在指定为未知进行“夹持”和“放开”的操作，其调度方式简单，节省时间，同时占用的空间较小。 | ||
| 搜索关键词： | 夹持机构 输送带 载具传输系统 传输装置 夹持 本实用新型 环形输送带 调度方式 环形设置 流转 载具 占用 | ||
【主权项】：
1.一种载具传输系统，其特征在于，包括：传输装置(1)和多个夹持机构(2)，其中，所述传输装置(1)具有呈环形设置的输送带(3)；所述夹持机构(2)分别设置在所述输送带(3)上，所述夹持机构(2)用于夹持载具。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
