[实用新型]晶硅铸锭加热器有效
申请号: | 201821924498.0 | 申请日: | 2018-11-21 |
公开(公告)号: | CN209456615U | 公开(公告)日: | 2019-10-01 |
发明(设计)人: | 王双丽;张华利;胡动力 | 申请(专利权)人: | 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 唐清凯 |
地址: | 221004 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种晶硅铸锭加热器,包括顶部加热器;侧部加热器,包括侧部上加热器及侧部下加热器,其中所述侧部上加热器和顶部加热器串联形成串联单元,所述串联单元和侧部下加热器分别独立连接电源。上述晶硅铸锭加热器,侧部加热器分成两部分,一部分独立连接电源,另一部分与顶部加热器串联,从而在长晶过程中可以方便地控制各自的发热功率,从而可以灵活控制侧部加热器向硅料辐射热量,优化长晶耗时和铸锭周期。 | ||
搜索关键词: | 加热器 侧部加热器 顶部加热器 串联单元 独立连接 晶硅铸锭 上加热器 铸锭 串联 电源 本实用新型 发热功率 辐射热量 灵活控制 硅料 种晶 耗时 优化 | ||
【主权项】:
1.一种晶硅铸锭加热器,其特征在于,包括顶部加热器;侧部加热器,包括侧部上加热器及侧部下加热器,其中所述侧部上加热器和顶部加热器串联形成串联单元,所述串联单元和侧部下加热器分别独立连接电源。
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