[实用新型]一种太阳能电池外延结构

摘要

本实用新型提供一种太阳能电池外延结构。该太阳能电池外延结构包括待剥离衬底和设置在待剥离衬底上的牺牲层和电池层，沿远离待剥离衬底的方向，牺牲层和电池层依次设置，牺牲层包括至少一个叠层单元，各叠层单元依次叠置，叠层单元包括相互叠置的第一砷化铝层和第二砷化铝层，第一砷化铝层和第二砷化铝层均为n型掺杂层，且第一砷化铝层和第二砷化铝层的掺杂浓度不同。该太阳能电池外延结构中的牺牲层能在湿法腐蚀过程增大与湿法腐蚀液的接触面积，从而提高湿法腐蚀的效率和待剥离衬底剥离效率，该牺牲层还能在衬底剥离过程中缓和电池层与待剥离衬底之间产生的剥离拉扯力，从而提高待剥离衬底与电池层的分离良率。

主权项

1.一种太阳能电池外延结构，包括待剥离衬底和设置在所述待剥离衬底上的牺牲层和电池层，沿远离所述待剥离衬底的方向，所述牺牲层和所述电池层依次设置，所述牺牲层用于辅助所述待剥离衬底与所述电池层分离，其特征在于，所述牺牲层包括至少一个叠层单元，沿远离所述待剥离衬底的方向，各所述叠层单元依次叠置，所述叠层单元包括相互叠置的第一砷化铝层和第二砷化铝层，所述第一砷化铝层和所述第二砷化铝层均为n型掺杂层，且所述第一砷化铝层和所述第二砷化铝层的掺杂浓度不同。