[实用新型]一种单晶炉氩气回收系统有效
| 申请号： | 201821942697.4 | 申请日： | 2018-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN209052806U | 公开（公告）日： | 2019-07-02 |
| 发明（设计）人： | 朱刚;汪涛;封红军 | 申请（专利权）人： | 朱刚 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00 |
| 代理公司： | 沈阳智龙专利事务所(普通合伙) 21115 | 代理人： | 宋铁军 |
| 地址： | 116083 辽宁省大连市*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种单晶炉氩气回收系统，其特征在于：废氩气储罐的出气端口通过管道连接加热器的进气端口，加热器的出气端口通过管道连接催化反应器的进气端口，催化反应器的出气端口通过管道连接冷却器的进气端口，冷却器的出气端口通过管道连接吸附器的进气端口，吸附器的出气端口通过管道连接高纯氩储罐的进气端口；所述催化反应器内装填有一氧化碳脱除催化剂，吸附器内装填沸石分子筛。本实用新型无需再使用低温精馏装置去除额外引入的空气、氧气及氢气等杂质，简化了系统流程，降低了氩气回收成本。 | ||
| 搜索关键词： | 出气端口 管道连接 进气端口 催化反应器 氩气 吸附器 加热器 本实用新型 回收系统 单晶炉 冷却器 装填 低温精馏装置 一氧化碳脱除 沸石分子筛 系统流程 氩气储罐 氢气 高纯氩 再使用 储罐 催化剂 去除 氧气 回收 引入 | ||
【主权项】：
1.一种单晶炉氩气回收系统，其特征在于：废氩气储罐（1）的出气端口通过管道连接加热器（2）的进气端口，加热器（2）的出气端口通过管道连接催化反应器（3）的进气端口，催化反应器（3）的出气端口通过管道连接冷却器（4）的进气端口，冷却器（4）的出气端口通过管道连接吸附器（5）的进气端口，吸附器（5）的出气端口通过管道连接高纯氩储罐（6）的进气端口；所述催化反应器（3）内装填有一氧化碳脱除催化剂，吸附器（5）内装填沸石分子筛。
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