[实用新型]一种基片承载装置

摘要

本实用新型公开了一种基片承载装置，包括底板、顶板、连接杆、载板定位杆、基片载板和清洗管；连接杆的两端分别与底板和顶板固定连接，以在底板和顶板之间形成用于承放基片载板的载板承放区；载板定位杆的两端分别与底板和顶板固定连接；基片载板上设有载板定位孔，且基片载板通过载板定位孔穿设在载板定位杆上，以将基片载板定位在载板承放区内；清洗管与底板和/或顶板固定连接，清洗管上设有进液口和清洗口，清洗口与基片载板相对应，以使得自进液口进入的洗液通过清洗口导向基片载板。本公开的基片承载装置的清洗管可将洗液直接导向基片载板，从而将基片载板之间难以通过浸泡方式去除的刻蚀液去掉，有效避免刻蚀液对基片的过刻蚀。

主权项

1.一种基片承载装置，其特征在于，包括底板、顶板、连接杆、载板定位杆、基片载板和清洗管；其中，所述连接杆的两端分别与所述底板和所述顶板固定连接，以在所述底板和所述顶板之间形成用于承放所述基片载板的载板承放区；所述载板定位杆的两端分别与所述底板和所述顶板固定连接；所述基片载板上设有载板定位孔，且所述基片载板通过所述载板定位孔穿设在所述载板定位杆上，以将所述基片载板定位在所述载板承放区内；所述清洗管与所述底板和/或所述顶板固定连接，所述清洗管上设有进液口和清洗口，所述清洗口与所述基片载板相对应，以使得自所述进液口进入的洗液通过所述清洗口导向所述基片载板。