[实用新型]一种用于多弧离子镀设备圆形平面多弧靶装置

摘要

本实用新型公开了一种用于多弧离子镀设备圆形平面多弧靶装置，靶座焊接在真空腔体上，密封绝缘垫安装在靶座上，靶连接法兰压住密封绝缘垫设置，连接螺丝绝缘套通过内六角螺丝固定安装在靶连接法兰的螺孔中，O型圈安装在靶连接法兰上，靶头绝缘垫安装在O型圈上，靶头装置安装在靶头绝缘垫上，靶头装置内部通过靶连接上压法兰固定有磁钢装置，靶材在真空侧通过螺丝固定在靶头装置上，屏蔽罩通过靶材装配在靶连接法兰上，靶头装置上还连接有外部接线柱，引弧装置安装在靶连接法兰上。本实用新型实现离子镀膜的最佳工艺，极大的提高生产效率，并提供一种气动控制式多弧靶引弧针，结构简单，引狐动作稳定、准确，密封可靠。

主权项

1.一种用于多弧离子镀设备圆形平面多弧靶装置，其特征在于，包括靶座(1)、密封绝缘垫(2)、连接螺丝绝缘套(3)、靶连接法兰(4)、靶连接上压法兰(5)、靶头绝缘垫(6)、外部接线柱(7)、靶材(8)、屏蔽罩(9)、磁钢装置(10)、引弧装置(11)和靶头装置(16)，靶座(1)焊接在真空腔体上，密封绝缘垫(2)安装在靶座(1)上，靶连接法兰(4)压住密封绝缘垫(2)设置，连接螺丝绝缘套(3)通过内六角螺丝固定安装在靶连接法兰(4)的螺孔中，O型圈安装在靶连接法兰(4)上，靶头绝缘垫(6)安装在O型圈上，靶头装置(16)安装在靶头绝缘垫(6)上，靶头装置(16)内部通过靶连接上压法兰(5)固定有磁钢装置(10)，靶材(8)在真空侧通过螺丝固定在靶头装置(16)上，屏蔽罩(9)通过靶材(8)装配在靶连接法兰(4)上，靶头装置(16)上还连接有外部接线柱(7)，引弧装置(11)安装在靶连接法兰(4)上。