[实用新型]一种可调节的坩埚护板有效
申请号: | 201821961237.6 | 申请日: | 2018-11-26 |
公开(公告)号: | CN210368004U | 公开(公告)日: | 2020-04-21 |
发明(设计)人: | 胡动力;赵玉兵;张立明 | 申请(专利权)人: | 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00;C30B29/06 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 唐清凯 |
地址: | 221004 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种可调节的坩埚护板,包括首尾连接的多个护板,相邻两个护板中的第一个护板于连接处设有开孔结构,第二个护板于连接处设有插板,其中所述开孔结构包括沿平行于第一个护板顶边的方向排列的多个开孔,所述插板上还设置有沿平行于第二个护板顶边的方向排列的多个卡槽,所述插板插入任一个所述开孔中,还包括与所述开孔卡接以将相邻两个护板连接的卡件。上述坩埚护板通过调整插板与开孔的配合位置,及调整卡件与卡槽的卡接位置,能够实现在两个彼此垂直的方向上调整护板所围成的内部空间的尺寸的目的,以此兼容不同尺寸的硅锭生产。 | ||
搜索关键词: | 一种 调节 坩埚 | ||
【主权项】:
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