[实用新型]砷化镓电池外延结构

摘要

本实用新型提供一种砷化镓电池外延结构。该砷化镓电池外延结构包括衬底和设置在衬底上的牺牲层和电池层，牺牲层和电池层沿远离衬底的方向依次叠置，牺牲层包括叠层单元，叠层单元包括能被湿法腐蚀液腐蚀的膜层和夹设在膜层中的不能被湿法腐蚀液腐蚀的量子点层。该砷化镓电池外延结构，通过设置中间夹层为不能被湿法腐蚀液腐蚀的砷化物量子点层的三明治结构的牺牲层，在湿法腐蚀剥离衬底时，砷化物量子点能通过搅拌腐蚀液整体剥离，以在原来量子点所在位置留下孔洞，孔洞能使腐蚀液与附近未腐蚀的砷化铝层接触面积增大，提高牺牲层在湿法腐蚀过程中的腐蚀速率。

主权项

1.一种砷化镓电池外延结构，其特征在于，包括衬底和设置在所述衬底上的牺牲层和电池层，所述牺牲层和所述电池层沿远离所述衬底的方向依次叠置；其中，所述牺牲层包括叠层单元，所述叠层单元包括能被湿法腐蚀液腐蚀的膜层和夹设在所述膜层中的不能被所述湿法腐蚀液腐蚀的量子点层。