[实用新型]一种用于气体浓度测量的陶瓷芯片及传感器

摘要

一种用于气体浓度测量的陶瓷芯片及传感器，该陶瓷芯片包括层叠设置在一起的第一至第三陶瓷基体层、测量单元、加热单元以及屏蔽单元，加热单元设置在第一陶瓷基体层上，连接外部电源以对陶瓷芯片加热，测量单元设置在第三陶瓷基体层上，在达到预定的温度条件时将测量到的被测气体的浓度信息转化为对应的电压或电流信号，屏蔽单元设置在介于第一陶瓷基体层和第三陶瓷基体层之间的第二陶瓷基体层上，屏蔽单元为与地线连接的网状结构或密实结构的电导体，位置和尺寸经配置以阻断加热单元的加热电压对测量单元的电场干扰。该陶瓷芯片能够消除加热单元带来的感应电场对测量单元的影响，降低芯片的测量信号的干扰，显著提高测量精度。

主权项

1.一种用于气体浓度测量的陶瓷芯片，其特征在于,包括层叠设置在一起的第一至第三陶瓷基体层、测量单元、加热单元以及屏蔽单元，所述加热单元设置在所述第一陶瓷基体层上，所述加热单元连接外部电源以对所述陶瓷芯片加热，所述测量单元设置在所述第三陶瓷基体层上，所述测量单元在达到预定的温度条件时将测量到的被测气体的浓度信息转化为对应的电压或电流信号，所述屏蔽单元设置在介于所述第一陶瓷基体层和所述第三陶瓷基体层之间的所述第二陶瓷基体层上，所述屏蔽单元为与地线连接的网状结构或密实结构的电导体，所述屏蔽单元在所述第二陶瓷基体层上的位置和尺寸经配置以阻断所述第一陶瓷基体层上的所述加热单元的加热电压对所述第三陶瓷基体层上的所述测量单元的电场干扰。