[实用新型]一种二次电子探测器

摘要

本实用新型公开了一种二次电子探测器，包括接口端，所述接口端的一侧设有隔光套，且隔光套的内壁设有等距离分布的隔热板，所述隔热板右侧的中间位置和隔光套的顶部内壁均设有等距离分布的电动伸缩杆，且相邻两个电动伸缩杆活塞杆的一端通过铰链连接有同一个反光镜，所述反光镜远离电动伸缩杆的一侧设有滤光罩。本实用新型可将光束中不需要的干扰光束进行过滤，保证最终的检测到的图像清晰，保证了隔热的效果，导热垫和导热杆将隔光套内的热量传导至水箱内进行散热，在保证滤光罩内散热效果的同时，有效保证滤光效果，可通过电动伸缩杆调节反光镜的倾斜角度，适用于不同角度射入的光束，方便易操作。

主权项

1.一种二次电子探测器，包括接口端(1)，其特征在于，所述接口端(1)的一侧设有隔光套(2)，且隔光套(2)的内壁设有等距离分布的隔热板(11)，所述隔热板(11)右侧的中间位置和隔光套(2)的顶部内壁均设有等距离分布的电动伸缩杆(20)，且相邻两个电动伸缩杆(20)活塞杆的一端通过铰链连接有同一个反光镜(16)，所述反光镜(16)远离电动伸缩杆(20)的一侧设有滤光罩(14)，且滤光罩(14)的圆周外壁均开设有等距离分布的第一散热孔(15)，所述滤光罩(14)圆周内壁靠近反光镜(16)的一侧设有等距离分布的挡板(17)，所述隔热板(11)一侧的顶部开设有穿孔(19)，所述隔光套(2)远离接口端(1)的一侧设有电子进入端(3)，且隔光套(2)的圆周外壁套接有导热垫(9)，所述导热垫(9)远离隔光套(2)的一侧设有等距离分布的导热杆(7)，所述隔光套(2)圆周外壁的两侧均设有等距离分布的连接杆(5)，且连接杆(5)远离隔光套(2)的一端设有水箱(6)，所述水箱(6)顶部外壁的左侧设有蒸汽排出管(10)。