[实用新型]一种低碳、无油大抽速真空抽气机组有效
| 申请号： | 201821971500.X | 申请日： | 2018-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN209179988U | 公开（公告）日： | 2019-07-30 |
| 发明（设计）人： | 储继国;李兆明 | 申请（专利权）人： | 苏州摩星真空科技有限公司 |
| 主分类号： | F04B41/06 | 分类号： | F04B41/06 |
| 代理公司： | 苏州佳博知识产权代理事务所(普通合伙) 32342 | 代理人： | 唐毅 |
| 地址： | 215400 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型揭露一种低碳、无油大抽速真空抽气机组，其包括真空腔体及设置于所述真空腔体内的第一真空阀，第一真空阀将所述真空腔体分割成真空室和高真空泵室两部分，真空室与放气阀、第一真空规相接通，真空室经第二真空阀与粗真空抽气机组连接，高真空泵室还与径流分子泵相连接，径流分子泵的排气口经第三真空阀与前级泵连接，高真空泵室内设置有单冷水汽捕集泵和电弧吸附泵。本实用新型的低碳、无油大抽速真空抽气机组，显著提升该真空抽气系统的抽速利用率，该真空抽气机组具有大抽速、低能耗、无油蒸汽污染，具有取代传统高能耗、高油蒸汽污染的扩散泵机组的抽气能力。 | ||
| 搜索关键词： | 真空抽气机组 抽速 真空阀 高真空泵 真空室 低碳 本实用新型 真空腔体 蒸汽污染 分子泵 径流 电弧 真空抽气系统 扩散泵机组 抽气能力 水汽 低能耗 放气阀 排气口 前级泵 吸附泵 真空规 真空腔 捕集 高油 无油 接通 体内 室内 分割 | ||
【主权项】：
1.一种低碳、无油大抽速真空抽气机组，其包括真空腔体及第一真空阀，所述真空腔体包括第一腔体以及经所述第一腔体向外延伸形成的第二腔体，其特征在于：所述第一真空阀设置于所述第二腔体并将所述真空腔体分隔成真空室和高真空泵室两部分，所述真空室与放气阀、第一真空规相接通，所述真空室经第二真空阀与粗真空抽气机组连接，所述高真空泵室与径流分子泵相连接，所述径流分子泵的排气口经第三真空阀与前级泵连接。
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