[实用新型]气体混合设备有效
申请号: | 201821979457.1 | 申请日: | 2018-11-28 |
公开(公告)号: | CN209490704U | 公开(公告)日: | 2019-10-15 |
发明(设计)人: | 李国强;林宗贤;吴孝哲 | 申请(专利权)人: | 德淮半导体有限公司 |
主分类号: | B01F5/06 | 分类号: | B01F5/06;B01F3/02 |
代理公司: | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人: | 孙佳胤 |
地址: | 223300 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 该实用新型涉及一种气体混合设备,包括:腔体,用于进行气体的混合;压力控制器,连通至所述腔体,用于调控腔体内的压力;温控单元,包括加热套,安装至所述腔体,用于调控腔体内的温度;至少两块导流板,卡设于所述腔体内,设置在所述腔体的入口和出口之间,将所述腔体的入口和出口隔开;所述导流板设置有通孔,用于供待混合的气体通过,连通所述腔体的入口和出口,且各导流板相对设置,每一导流板对应导流一种待混合的气体。本实用新型的气体混合设备具有压力控制器和温控单元,能够对腔体内的压力和温度进行调控,隔绝外界压强和温度对腔体内气体的混合的影响,保证混合气体的浓度的稳定性和一致性。 | ||
搜索关键词: | 腔体 导流板 气体混合设备 体内 压力控制器 温控单元 连通 调控 出口 本实用新型 混合气体 气体通过 体内气体 外界压强 相对设置 加热套 导流 隔开 卡设 通孔 保证 | ||
【主权项】:
1.一种气体混合设备,其特征在于,包括:腔体,用于进行气体的混合;压力控制器,连通至所述腔体,用于调控腔体内的压力;温控单元,包括加热套,安装至所述腔体,用于调控腔体内的温度;至少两块导流板,卡设于所述腔体内,设置在所述腔体的入口和出口之间,将所述腔体的入口和出口隔开;所述导流板设置有通孔,用于供待混合的气体通过,连通所述腔体的入口和出口,且各导流板相对设置,每一导流板对应导流一种待混合的气体。
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