[实用新型]一种制备纳米含硼陶瓷粉末的直流等离子体发生器装置有效
| 申请号： | 201821991155.6 | 申请日： | 2018-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN209462688U | 公开（公告）日： | 2019-10-01 |
| 发明（设计）人： | 蔡杉;蔡京;陈永智 | 申请（专利权）人： | 江西瑞合特种材料有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/34 | 分类号： | H05H1/34;H05H1/28 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 330700 江西省*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种制备纳米含硼陶瓷粉末的直流等离子体发生器装置，包括阴极总成、氩气输入总成、反应气输入总成、不锈钢连接环和阳极总成。本实用新型由于将还原性反应气体直接引入等离子体发生器与氩气进行混合放电，在总放电功率及总气体流量不变的情况下，可大大降低氩气用量并增加反应气流量，从而提高了反应气体浓度，使得合成效率得到进一步的提高。 | ||
| 搜索关键词： | 直流等离子体发生器 含硼陶瓷粉末 本实用新型 氩气 输入总成 制备 等离子体发生器 还原性反应气体 不锈钢连接环 反应气流量 总气体流量 反应气体 放电功率 阳极总成 阴极总成 氩气用量 反应气 放电 合成 引入 | ||
【主权项】：
1.一种制备纳米含硼陶瓷粉末的直流等离子体发生器装置，包括阴极总成(1)、氩气输入总成(3)、反应气输入总成(5)、不锈钢连接环(7)和阳极总成(8)；其特征在于，所述阴极总成(1)与氩气输入总成(3)螺纹连接，阴极总成(1)与氩气输入总成(3)螺纹连接处套设有聚四氟乙烯密封圈(2)；所述氩气输入总成(3)通过螺栓固定的方式与反应气输入总成(5)固定连接，氩气输入总成(3)与反应气输入总成(5)连接处套设有硅橡胶密封垫圈(4)；所述反应气输入总成(5)与阳极总成(8)通过不锈钢连接环(7)固定连接，反应气输入总成(5)与阳极总成(8)之间通过聚四氟乙烯垫片(6)密封。
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