[实用新型]透射、扫描和聚焦离子束电镜通用样品杆及转接装置

摘要

本实用新型涉及材料测试领域，具体为一种透射、扫描和聚焦离子束电镜通用样品杆及转接装置。该装置包括样品杆、转接密封带法兰套管、密封法兰及波纹管套管和X‑Y‑Z三维滑台及支架，转接密封带法兰套管固定在样品杆的尾端，其内壁与样品杆间使用密封圈进行真空密封；转接密封带法兰套管置于波纹管套管内，其外壁使用密封圈与波纹管套管内壁实现真空密封；X‑Y‑Z三维滑台通过滑台支架固定在密封法兰和波纹管套管上，实现样品的三维平动和绕杆体轴线360°旋转。本实用新型极大地方便样品的加工和显微结构分析，提高工作效率，广泛适用于各种型号的透射电镜、扫描电镜和聚焦离子束电镜。

主权项

1.一种透射、扫描和聚焦离子束电镜通用样品杆及转接装置，其特征在于，包括：样品杆、转接密封带法兰套管、带套管密封法兰、X‑Y‑Z三维滑台、旋转滑台和滑台支架，具体结构如下：样品杆的尾端直径较样品杆的其他部分直径大，转接密封带法兰套管固定在样品杆的尾端外侧，转接密封带法兰套管内壁与样品杆间使用O型密封圈进行真空密封；转接密封带法兰套管置于带套管密封法兰的波纹管套管内，转接密封带法兰套管外壁使用O型密封圈与波纹管套管内壁实现真空密封；带套管密封法兰为密封法兰与波纹管套管组成，二者采用焊接的方式实现真空密封，密封法兰与波纹管套管的中心孔相对应；X‑Y‑Z三维滑台通过滑台支架固定在带套管密封法兰上，实现样品的三维平动和绕杆体轴线360°旋转；旋转滑台、滑台支架的左立板、带套管密封法兰的波纹管套管套装于转接密封带法兰套管上，密封法兰固定在透射、扫描或者聚焦离子束电镜主腔体内壁。