[实用新型]用于固定石英晶片镀膜夹具的托架有效

专利信息
申请号: 201822002071.1 申请日: 2018-11-30
公开(公告)号: CN209537617U 公开(公告)日: 2019-10-25
发明(设计)人: 欧阳林;欧阳晟;韩何明 申请(专利权)人: 广州晶优电子科技有限公司
主分类号: C23C14/50 分类号: C23C14/50;C23C14/34
代理公司: 广州润禾知识产权代理事务所(普通合伙) 44446 代理人: 林伟斌
地址: 510663 广东省广州市高*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型涉及石英晶片镀膜领域,具体公开了一种用于固定石英晶片镀膜夹具的托架,所述托架整体呈板状,所述托架包括一底座,所述底座上设有若干条均匀设置的安装条,所述安装条两两在其相对的面设有开槽,所述开槽为用于安装石英晶片镀膜夹具的导槽。与现有技术比较,本实用新型结构简单,制备成本低,采用滑槽的方式实现镀膜夹具的安装拆卸,便于操作者操作,大大提高了操作者的装卸速,本实用新型能同时安装多个镀膜夹具,能有效提高镀膜效率。
搜索关键词: 托架 本实用新型 镀膜夹具 夹具 固定石英 晶片镀膜 石英晶片 安装条 开槽 底座 镀膜效率 均匀设置 板状 导槽 镀膜 滑槽 拆卸 制备 装卸
【主权项】:
1.一种用于固定石英晶片镀膜夹具的托架,其特征在于,所述托架包括底座,所述底座上设有若干条均匀设置的安装条,所述安装条两两在其相对的面设有开槽,所述开槽为用于安装石英晶片镀膜夹具的导槽。
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