[实用新型]石英晶片镀膜治具有效
| 申请号： | 201822002140.9 | 申请日： | 2018-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN209481784U | 公开（公告）日： | 2019-10-11 |
| 发明（设计）人： | 欧阳林;欧阳晟;韩何明 | 申请（专利权）人： | 广州晶优电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/24;C23C14/34 |
| 代理公司： | 广州润禾知识产权代理事务所(普通合伙) 44446 | 代理人： | 林伟斌 |
| 地址： | 510663 广东省广州市高*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及石英产品制造领域，具体公开一种石英晶片镀膜治具，包括托架和镀膜夹具；所述托架整体呈板状，包括底座，所述底座上设有若干条均匀设置的安装条，所述安装条两两在其相对的面设有开槽；所述镀膜夹具包括若干石英晶片镀膜工位，所述石英晶片镀膜工位呈阵列分布；所述镀膜夹具沿着所述开槽安装到所述托架上。本方案所提供的结构简单，制造及应用成本低；托架采用滑槽安装的方式，镀膜夹具装卸方便，能同时装卸多个镀膜夹具，明显提升镀膜效率；托架的设计使得镀膜夹具既能用于蒸镀镀膜，又能用于溅射镀膜，降低了生产成本；镀膜夹具的镀膜工位设计紧凑，夹具各层贴合紧密，所以晶片固定效果好，镀膜频率的散差更小，镀膜质量高。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜夹具 镀膜 托架 石英晶片 工位 镀膜治具 安装条 开槽 底座 夹具 本实用新型 镀膜效率 溅射镀膜 晶片固定 均匀设置 石英产品 应用成本 阵列分布 装卸方便 板状 滑槽 贴合 蒸镀 生产成本 紧凑 制造 装卸 | ||
【主权项】：
1.一种石英晶片镀膜治具，其特征在于，包括托架(10)和镀膜夹具(20)；所述托架(10)包括底座(101)，所述底座(101)上设有若干条均匀设置的安装条(102)，所述安装条(102)两两在其相对的面设有开槽(1021)；所述镀膜夹具(20)包括若干石英晶片镀膜工位，所述石英晶片镀膜工位呈阵列分布；所述镀膜夹具(20)沿着所述开槽(1021)安装到所述托架(10)上。
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