[实用新型]一种六轴机器人辅助目检硅片装置有效
| 申请号： | 201822010405.X | 申请日： | 2018-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN209183512U | 公开（公告）日： | 2019-07-30 |
| 发明（设计）人： | 张亚昆;张淳;齐风;戴超;李诺;刘琦;孙晨光 | 申请（专利权）人： | 天津中环领先材料技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/66;G01N21/88 |
| 代理公司： | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 | 代理人： | 刘莹 |
| 地址： | 300384 天津市滨海新区*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种六轴机器人辅助目检硅片装置，包括框架、六轴机器人、辅助灯具和片篮，硅片放置在片篮中，六轴机器人、辅助灯具和片篮均位于框架内，辅助灯具包括荧光灯、条形灯、强光灯和光栅，六轴机器人与框架上底座连接，荧光灯和条形灯设置在框架顶上，且位于片篮上方，强光灯固定设置在片篮上面，强光灯的一侧竖直设置有光栅，六轴机器人与六轴鼠标连接。本实用新型利用六轴机器人辅助目检硅片表面质量，采用辅助目检方法，增加检测精度高、耗时短、可自动控制、减少人工参与、提高测试效率。 | ||
| 搜索关键词： | 六轴机器人 目检 辅助灯具 强光灯 本实用新型 光栅 荧光灯 条形灯 硅片 测试效率 固定设置 硅片表面 硅片放置 人工参与 鼠标连接 竖直设置 框架顶 上底座 六轴 耗时 检测 | ||
【主权项】：
1.一种六轴机器人辅助目检硅片装置，其特征在于：包括框架(1)、六轴机器人(2)、辅助灯具和片篮(7)，硅片放置在片篮(7)中，六轴机器人(2)、辅助灯具和片篮(7)均位于框架(1)内，辅助灯具包括荧光灯(3)、条形灯(4)、强光灯(5)和光栅(6)，六轴机器人(2)与框架(1)上底座连接，荧光灯(3)和条形灯(4)设置在框架(1)顶上，且位于片篮(7)上方，强光灯(5)固定设置在片篮(7)上面，强光灯(5)的一侧竖直设置有光栅(6)，六轴机器人(2)与六轴鼠标(8)连接。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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