[实用新型]纳米压印弹性模板及纳米压印组件有效

专利信息
申请号: 201822028250.2 申请日: 2018-12-04
公开(公告)号: CN209281147U 公开(公告)日: 2019-08-20
发明(设计)人: 童美魁;段晓东 申请(专利权)人: 上海安翰医疗技术有限公司
主分类号: G03F7/00 分类号: G03F7/00
代理公司: 上海波拓知识产权代理有限公司 31264 代理人: 李萌
地址: 201206 上海市浦东*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 一种纳米压印弹性模板及纳米压印组件,该纳米压印弹性模板包括弹性支撑层、增粘层及纳米压印胶层,所述增粘层形成于所述弹性支撑层上,所述纳米压印胶层形成于所述增粘层上,且在纳米压印胶层上形成有纳米压印结构。该纳米压印弹性模板能够避免母板上纳米压印胶的残存,提高母板的使用次数,降低成本。
搜索关键词: 纳米压印 纳米压印胶 弹性模板 增粘层 弹性支撑层 母板
【主权项】:
1.一种纳米压印弹性模板,其特征在于:所述纳米压印弹性模板包括弹性支撑层、增粘层及纳米压印胶层,所述增粘层形成于所述弹性支撑层上,所述纳米压印胶层形成于所述增粘层上,在纳米压印胶层上形成有纳米压印结构。
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