[实用新型]微机电泵模块有效
申请号: | 201822029951.8 | 申请日: | 2018-12-05 |
公开(公告)号: | CN209115315U | 公开(公告)日: | 2019-07-16 |
发明(设计)人: | 莫皓然;余荣侯;张正明;戴贤忠;廖文雄;黄启峰;韩永隆;郭俊毅 | 申请(专利权)人: | 研能科技股份有限公司 |
主分类号: | F04B49/06 | 分类号: | F04B49/06;F04B19/00;F04B17/03 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 喻学兵 |
地址: | 中国台湾新竹市*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 一种微机电泵模块,包含:一微处理器,输出一定电压及一变电压;一微机电芯片,电连接该微处理器,该微机电芯片包含有:一芯片本体;多个微机电泵,设置于该芯片本体,且分别具有一第一电极及一第二电极;以及至少一共电极,设置于该芯片本体且电连接该多个微机电泵的该第二电极;其中,该微处理器分别电连接该多个微机电泵的该第一电极及该至少一共电极,以传输该定电压至该至少一共电极以及传输该变电压至该多个微机电泵的该第一电极。 | ||
搜索关键词: | 微机电泵 微处理器 第一电极 芯片本体 电连接 电极 微机电芯片 第二电极 变电压 传输 定电压 输出 | ||
【主权项】:
1.一种微机电泵模块,其特征在于,包含:一微处理器,输出一定电压及一变电压;一微机电芯片,电连接该微处理器,该微机电芯片包含:一芯片本体;多个微机电泵,设置于该芯片本体,且分别具有一第一电极及一第二电极;以及至少一共电极,设置于该芯片本体且电连接该多个微机电泵的该第二电极;其中,该微处理器分别电连接该多个微机电泵的该第一电极及该至少一共电极,以传输该定电压至该至少一共电极以及传输该变电压至该多个微机电泵的该第一电极。
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