[实用新型]用于颗粒物粒径测量的激光测径系统和质谱仪有效

专利信息
申请号: 201822039316.8 申请日: 2018-12-06
公开(公告)号: CN209656505U 公开(公告)日: 2019-11-19
发明(设计)人: 邓飞;杜绪兵;喻佳俊;朱星高;刘平;代新;黄凯彬;刘今朝;陈颖 申请(专利权)人: 广州禾信仪器股份有限公司
主分类号: G01N15/02 分类号: G01N15/02;G01N27/62
代理公司: 44224 广州华进联合专利商标代理有限公司 代理人: 郑彤<国际申请>=<国际公布>=<进入国
地址: 510530 广东省广州市广州高新*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型涉及一种用于颗粒物粒径测量的激光测径系统,该激光测径系统包括激光器、分光装置、真空反射装置、基板、第一固定板以及第二固定板;激光器设在基板上,且激光器能够相对于基板移动;分光装置设在第一固定板上,用于将激光器发出的一束激光分成两束平行的激光束;真空反射装置设在第二固定板上,用于将分光装置分成的两束平行的激光束反射入质谱仪的真空腔。该激光测径系统利用反射的原理,将一束激光均匀的分成两束,避免了两个激光器能量衰减幅度不同,影响测径系统的准确性和灵敏度的问题。本实用新型涉及的质谱仪中的激光测径系统只需一个激光器,降低了激光测径系统的占用空间,使仪器结构更紧凑,同时降低了成本。
搜索关键词: 激光测径系统 激光器 固定板 分光装置 本实用新型 真空反射 质谱仪 基板 平行 激光 激光器能量 激光束反射 颗粒物粒径 测径系统 基板移动 衰减幅度 仪器结构 占用空间 激光束 灵敏度 真空腔 反射 紧凑 测量
【主权项】:
1.一种用于颗粒物粒径测量的激光测径系统,其特征在于,包括激光器、分光装置、真空反射装置、基板、第一固定板以及第二固定板;/n所述激光器设在所述基板上,且所述激光器能够相对于所述基板移动;/n所述分光装置设在所述第一固定板上,用于将所述激光器发出的一束激光分成两束平行的激光束;/n所述真空反射装置设在所述第二固定板上,用于将所述分光装置分成的两束平行的激光束反射入质谱仪的真空腔。/n
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